相比于其它行業(yè)的應用，半導體行業(yè)用陶瓷材料的開發(fā)過程顯得更為漫長且投入更加巨大，背后的原因是什么
潘教授：首先它對原料的品質要求非常高，例如對純度、結晶度、粒度分布，以及零部件制造時的可成型性，可加工性等方面都有嚴格的要求。特別是在半導體制造的不同工藝中，對陶瓷材料的機械性能、電學性能、抗化學腐蝕性能、精度都有很苛刻的要求，這對于原材料的陶瓷粉體的性能是個考驗。另外后面的陶瓷零部件的成型、燒結以及精密加工等環(huán)節(jié)都是非常重要的，因為在芯片生產(chǎn)中，一般要求很高的清潔度，優(yōu)異的機械和熱性能、很苛刻的耐腐蝕特性等，目前對我們來說仍有很多技術需要研究和攻克。就像剛才我介紹的靜電卡盤，它內部的結構非常復雜，而且非常精細，所以它的整個研發(fā)過程面臨著很大的挑戰(zhàn)。 著作權歸作者所有。 商業(yè)轉載請聯(lián)系作者獲得授權，非商業(yè)轉載請注明出處。 鏈接：https://news.cnpowder.com.cn/76880.html 來源：中國粉體網(wǎng)
