粉體網：請問栗教授，相比傳統的硅襯底，碳化硅襯底的加工難點有哪些？栗教授：碳化硅晶圓襯底的莫
栗教授：碳化硅晶圓襯底的莫氏硬度在9以上，屬于硬脆的難加工材料，加工精度要求很高，包括形狀、尺寸和表面精度都屬于超精密范圍，例如TTV達到微米級，Ra要達到0.2nm以下。因此，碳化硅襯底對加工技術要求非常高，包括切割、磨削和拋光，從工具到工藝和裝備都具有很大的難度。 著作權歸作者所有。 商業轉載請聯系作者獲得授權，非商業轉載請注明出處。 鏈接：https://news.cnpowder.com.cn/78081.html 來源：中國粉體網
