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真空式等離子處理系統CRF-VPO-2L-S

名稱（Name）

真空式等離子處理系統

型號（Model）

CRF-VPO-2L-S

控制系統（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz, 3kw

中頻電源功率（RF Power）

1000W/40KHz

容量（Volume ）

10L(Option)

層數（Electrode of plies ）

2(Option)

腔體規格（Area）

220(W)*230(D)*230(H)

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選：Ar、N2、CF4、O2

產品概述

設備參數

產品特點

超大處理空間，提升處理產能，采用PLC+觸摸屏控制系統，精準的控制設備運行；

可按照客戶要求定制設備腔體容量和層數，滿足客戶的需求；保養維修成本低，便于客戶成本控制；

高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持。

應用范圍

真空等離子清洗機適用于印制線路板行業，半導體IC領域、硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業,航空工業等。印制線路板行業：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污、軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗；硅膠、塑膠、聚合體領域硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。

等離子體為何在當代這么受歡迎呢

21世紀以來，隨著科學技術和現代工業的快速發展，為滿足各行業發展需求，各種功能的新材料層出不窮。與此同時，這也促使了各種表面改性技術的發展與進步。

等離子體表面改性是指將材料暴露在非聚合氣等離子體中，通過等離子體轟擊材料表面，使材料表面結構發生變化，從而實現活化改性。一般而言，功能層的表面改性非常薄(幾納米至數百納米)，不會影響材料的整體性能；經過改性后，材料表面可具有親水性、抗磨性、裝飾性、著色性、印花性、粘接性、抗靜電性等功能。

現等離子體技術用于纖維表面的改性也受到廣泛的注意。等離子體處理碳纖維表面即能改善粘接性，又能保證纖維拉伸強度不下降。此外，等離子體處理還能消除碳纖維的表面微裂紋，減少應力集中，提高纖維本身的拉伸強度。等離子體處理Kevlar纖維、芳綸纖維同樣效果顯著。PET纖維應用廣泛，但染色性、吸濕性、抗污性能差，經等離子體處理后，表面引入極性基團，產生自由基、交聯層，有效改善各種性能。

電子元器件、汽車零部件等工業元件在生產過程中由于交叉污染、自然氧化、焊劑等，表面會形成各種污物，這些污染物會影響元件在后續生產中的焊接、粘接等相關工藝質量，降低成品可靠性和合格率。等離子體處理通過化學或物理作用對工件表面進行處理，反應氣體電離產生高活性反應離子，與表面污染物發生化學反應進行清潔。需要根據污染物的化學成分對反應氣體進行選擇。以化學反應為主的等離子體清洗速度快，選擇性好，對有機污染物清洗效果較好。表面反應以物理作用為主的等離子體清洗很常用的是采用氬氣，不會產生氧化副產物，刻蝕作用各向異性。一般情況下等離子體表面改性過程中，化學反應和物理作用是共同存在的，從而得到較好的選擇性、均勻性和方向性。

由于工業領域精密化、微小化的發展方向，等離子體表面改性技術以其精細清潔、無損改性的優勢在半導體行業、芯片產業、航空航天等高新技術行業也會有越來越重要的應用價值。