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JTFB-1600復(fù)合分子泵
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JTFB-1600復(fù)合分子泵
1022
JTFB-1600復(fù)合分子泵
JT系列復(fù)合分子泵
表-3 JTFB-1600復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù)表 | ||
型號(hào) | JTFB-1600 | |
高真空法蘭(mm) | 250 CF/250 ISO-K | |
前級(jí)管道法蘭(mm) | 50 KF | |
抽氣速率(L/S)(對(duì)空氣) | 1600 | |
壓縮比 | N2 | >109 |
H2 | >1X104 | |
極限壓強(qiáng)(Pa) | <8×10-8/<5×10-7 | |
瞬時(shí)耐壓 | 5000Pa | |
電機(jī)轉(zhuǎn)數(shù)(rpm) | 24000 | |
振動(dòng)值(μm) | ≤0.15 | |
啟動(dòng)時(shí)間(min) | <6 | |
停機(jī)時(shí)間(min) | 8 | |
建議采用的前級(jí)泵(L/S) | 15 | |
冷卻方式 | 水冷 | |
水冷泵冷卻水溫度(℃) | ≤20 | |
冷卻水流量(L/min) | 1~2 | |
泵體烘烤溫度(℃) | <120 | |
加熱器功率(w) | <350 | |
加熱器輸入電壓(v) | AC220 | |
安裝方向 | 垂直±5° | |
泵重量(kg) | ≈31 |
JTFB-1600復(fù)合分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃獾膲嚎s比曲線
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