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這款儀器采用模塊化設計，可在一款儀器下實現納米與微米/大載荷三個尺度下的壓痕，劃痕與摩擦磨損測試，進而可得到硬度、彈性模量、蠕變信息、彈塑性、斷裂韌度、應力-應變曲線、膜基結合力、劃痕硬度、摩擦系數、磨損率等微觀力學數據。

產品特性:

◎可在一臺儀器上實現納米尺度、微米尺度及大載荷尺度下的壓痕、劃痕與摩擦測試

◎壓痕、劃痕與摩擦磨損完全符合ASTM及ISO的國際標準

◎模塊化設計：可根據客戶需求任意選擇納米/微米/大載荷模塊的壓痕/劃痕/磨損功能

◎**的設計可保證系統具有高穩定性與高的精度

◎可拓展性強：可隨意升級已有設備到多種測試功能

技術參數：

◎ 工作臺自動控制范圍：150 mm×150mm

◎ Z方向自動移動范圍：50mm

◎ 工作臺定位精度：1μm

◎ 光學顯微物鏡：5X，10X，20X，50X，100X可選

◎ 總放大倍數：200X， 400X， 800X，2000X200X， 4000X可選

◎ 納米壓痕儀/納米劃痕儀/納米摩擦磨損儀

◎ 微米壓痕儀/微米劃痕儀/微米摩擦磨損儀

◎ 大載荷壓痕儀/大載荷劃痕儀/大載荷摩擦磨損儀

可選件：

◎ 測量模塊：客戶需要自己選擇納米模塊、微米模塊與大載荷模塊其中之一

◎ 光學鏡頭：客戶需要自己選擇光學鏡頭的個數與倍率

◎ 原子力顯微鏡

產品應用：

◎薄膜及超薄膜(金屬膜、陶瓷膜、Low k 膜、多層復合膜等)

◎復合材料(樹脂基、陶瓷基、金屬基、纖維增強材料表面及界面等)

◎聚合物 (共混物、共聚物等)

◎生物及仿生材料(細胞、骨組織、血管、牙齒、支架等)

◎金屬及合金(晶面/晶界/組織相、金屬玻璃、稀土等)

◎MEMS (微懸臂、微鏡、微泵等)

◎陶瓷材料

◎電子及半導體(硅片、藍寶、硬脆及軟脆材料等)