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1.方塊電阻范圍sheet resistance range

10-5～2×105Ω/□

10-4～2×104Ω/□

2.電阻率范圍

resistivity range

10-6～2×106Ω-cm

10-5～2×105Ω-cm

電導(dǎo)率范圍Conductivity range

5×10-6～106ms/cm

5×10-5～105ms/cm

3.測(cè)試電流范圍

test current range

0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度current

±0.1% accuracy

軟件界面

電阻、電阻率、方阻、溫度、單位切換、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率、圖譜顯示，壓力設(shè)定，壓強(qiáng)，報(bào)表導(dǎo)出，波形刷新，時(shí)間設(shè)定，啟動(dòng)、停止、運(yùn)行