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Vac Coat的工程團隊設計和制造的組件符合高質量標準。Vac Coat的真空鍍膜機系統已通過遍布全球的分銷商銷往許多大學和研究中心，并得到了很好的參考和反饋。

1、DSR1

儀器描述：
該產品為臺式磁控濺射鍍膜機，能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au  / Pd）的薄膜。  在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結構緊湊，全自動控制，設計符合人體工程學，所得結果一致，可重復性高。

產品特點：

? 7’’彩色觸摸屏：數據輸入簡單快速

? 可配高精度石英晶體厚度監測儀（精度可達1nm）

? 樣品臺更換簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。

? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

? 符合CE標準

產品參數：

? 2英寸磁控管陰極

? 兩級直驅4m3/h旋片機械泵

? Pyrex樣品倉：外徑170mm，高140mm，

? 尺寸：50(W) x 37(D) × 45(H) Cm

? 運輸重量（包括真空泵）：42kg

? 電源：220V-240V，50 / 60HZ-10A

? 極限真空度：小于40 mTorr

? 電子控制快門

? 電子控制真空閥

2、DCR

儀器描述：
DCR是一臺結構緊湊的臺式鍍碳儀。可用于掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）和能譜分析（EDX）制樣。

產品特點：
? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統鍍碳相比，碎屑顯著減少

? 7’’彩色觸摸屏：數據輸入簡單快速；真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監測；歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
? 可聯網更新用戶友好軟件
? 可記錄和繪制涂層參數圖表

 ? 可配高精度石英晶體厚度監測儀（精度可達1nm）

? 樣品臺更換簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。

? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

? 符合CE標準

產品參數：

1、真空泵：二極直驅旋片機械泵（4m3/h)

2、極限真空度：小于50 mTorr

3、Pyrex 樣品倉：外徑170mm，140mm，

4、0-25A脈沖直流開關電源

5、尺寸：450 x 500 x 370 mm (H x W x D)

6、電源：220V-240V，50 / 60HZ-10A

7、電子控制快門

8、精密真空壓力控制閥

9、USB數據傳輸端口

10、運輸重量：46kg

3、DSCR

儀器描述：
DSCR型臺式多功能鍍膜儀，是一臺緊湊型涂布系統，集離子濺射系統和鍍碳系統于一體。該系統能夠在不導電或導電性差的樣品上濺射金（Au）、鈀（Pd）、鉑（Pt）和金/鈀（Au/Pd）等貴金屬，并且可以在樣品上鍍上碳膜。
DSCR是一臺多功能掃描電子顯微鏡制樣設備。全自動操作選項使得即使是初學者，也可以輕松使用系統，形象的用戶友好軟件，簡化了對沉積信息的感知。

產品特點：
? 精密可復制涂層：可重復膜厚沉積
? 高分辨率精細涂層（金顆粒可達2nm）
? 低壓濺射
? 無需冷卻系統
? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統鍍碳相比，碎屑顯著減少可使用雙碳纖維蒸鍍，用于厚層沉積
? 易于操作：7’’彩色觸摸屏直觀控制涂布過程，數據輸入簡單快速
? 用戶友好的全自動及半自動控制軟件
? 可配高精度石英晶體厚度監測儀（精度可達1nm）
? 樣品臺更換簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。
? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
? 符合CE標準

產品參數：
1、真空泵：二極直驅旋轉機械泵（4m3/h)
2、Pyrex 樣品倉：外徑170mm，140mm，
3、儀器尺寸：45（H）x50（W）37×（D）Cm
4、2英寸磁控管陰極
5、極限真空度：小于50 mTorr
6、電子控制快門
7、自動控制泄露閥
8、電源：220V-240V, 50/60HZ- 10A
9、80W直流開關電源
10、運輸重量：42kg

4、DST1-170

產品描述：
DST1-170是一臺結構緊湊的臺式磁控離子濺射儀。適用于金屬材料濺射，包括惰性金屬以及氧化性金屬，DST1-170配有直徑為2英寸的磁控管陰極。在較短時間內即可形成晶粒尺寸均勻的薄膜。
DST1-170高真空濺射儀，可提供高質量的均勻薄膜，具有較細的晶粒尺寸，十分適用于樣品的高分辨和高品質表征，如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD，也可應用于科研和各種薄膜的應用研究中，如：納米和微電子、太陽能電池應用、光學元件涂層合薄膜傳感器等。

產品特點：
? 高真空渦輪泵90 L/S（Leybold）+二級旋片式真空泵的前級泵，為儀器提供了潔凈的高真空，減少了污染。

? 涂層速率可控，可獲得更細的晶粒結構

? 可手動或自動，根據時間或根據厚度進行濺射

? 7’’彩色觸摸屏：數據輸入簡單快速；真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監測；歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。

? 觸摸屏直觀地控制涂布過程，數據輸入簡單快速

? 可通過網絡更新的用戶友好軟件

? 可記錄和繪制涂層參數圖

? 可配高精度石英晶體厚度監測儀（精度可達1nm）

? 樣品臺更換簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。

? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

? 符合CE標準

產品參數：

1、高真空渦輪泵90 L/S（Leybold）

2、二極直驅旋片機械泵（4m3/h)

3、極限真空：小于5x10-6 Torr

4、獨立于壓力自動控制濺射功率

5、全量程真空計（Leybold）

6、ISO-KF 63蝶形閥

7、80 W直流電源

8、電子控制快門

9、電控氬氣泄漏閥

10、設施：220V-240V，50/60HZ-16A

11、運輸重量：36kg

5、DCT

產品描述：
DCR是一臺裝有渦輪泵的碳鍍儀，可提供細粒度均勻的高質量碳膜，適用于需要高分辨率和高質量表征的樣品，尤其適合FE-SEM，EDS/WDS，TEM，EBSD和薄膜應用研究等。

產品特點：
? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統鍍碳相比，碎屑顯著減少
? 7’’彩色觸摸屏：數據輸入簡單快速；真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監測；歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
? 可聯網更新用戶友好軟件
? 可記錄和繪制涂層參數圖表

 ? 可配高精度石英晶體厚度監測儀（精度可達1nm）

? 樣品臺更換簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果

? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

? 可選用碳棒蒸發源及適配大電流電源

? 符合CE標準

產品參數：

1、高真空渦輪分子泵90 l/s Leybold

2、二級旋片式真空泵作為分子泵前級泵

3、全量程真空計

4、真空倉：外徑170mm，140mm

5、0-25A脈沖直流開關電源

6、極限真空度：小于50×10-6 Torr

7、尺寸：450 x 500 x 370 mm (H × W × D)

8、電源：220V-240V，50 / 60HZ-10A

9、用于精確控制真空壓力的精密計量閥

10、電子控制快門

11、涂層參數實時圖

12、USB數據傳輸端口

13、運輸重量：46kg

6、DSCT

產品描述：
DSCT是一臺多功能的涂布系統，集濺射鍍膜機和纖維碳鍍膜機于一體：在一臺儀器中具有可互換的磁頭。
DSCT高真空鍍膜機，可提供晶粒尺寸很細的高質量均勻薄膜，適用于需要高分辨率和高質量表征的樣品，如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD。
DSCT具有2''磁控管陰極，80w直流開關電源和碳蒸發大電流電源，也可用于科研及不同薄膜的應用研究中。
 
產品特點：
? 高真空渦輪泵90 L/S（Leybold）+二級旋片式真空泵的前級泵，為儀器提供了潔凈的高真空，減少了污染

? 涂層速率可控，可獲得更細的晶粒結構
? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統鍍碳相比，碎屑顯著減少
? 可手動或自動，根據時間或根據厚度進行濺射
? 7’’彩色觸摸屏：數據輸入簡單快速；真空度、電流、厚度等鍍膜參數可通過觸摸屏中的數據或曲線直觀監測；歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
? 觸摸屏直觀地控制涂布過程，數據輸入簡單快速
? 可通過網絡更新的用戶友好軟件
? 可記錄和繪制涂層參數圖
? 可配高精度石英晶體厚度監測儀（精度可達1nm）
? 樣品臺更換簡單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。
? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
? 符合CE標準

產品參數：
1、極限真空：小于5×10-6 Torr
2、獨立于壓力自動控制濺射速率
3、用于精確控制真空壓力的精密質量流量計（MFC）
4、可通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC
5、設施：220V-240V，50/60HZ-16A
6、運輸重量：42kg