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優勢

· 基于雙折射應力測量模型實現應力瞬時測量，顯示應力二維分布偽彩圖
· 采用雙遠心檢測光路，相位延遲測量精度高
· 根據不同測量視場要求，多種鏡頭可選
· 訂制化樣品托盤，適應不同規格晶圓批量測試

適用對象

· 適用于三代化合物晶圓片、玻璃晶圓片、精密光學元件（平晶，棱鏡，波片，透鏡等）的內應力檢測
 

適用領域

· 面向化合物晶圓生產、光學精密加工等行業

測量原理

· 基于偏振光應力雙折射效應檢測晶圓材料內部應力分布。當晶體材料由于內部缺陷存在應力集中時會導致應力雙折射效應，偏振光透過它時會發生偏振態調制，通過測量透射光的斯托克斯矢量可以推算出材料的應力延遲量，從而得到材料內應力分布；
· 可同步集成晶圓表面缺陷暗場檢測和尺寸量測