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Rainbow系列陰極熒光成像及光譜探測系統能夠與掃描電子顯微鏡或聚焦離子束系統配合，實現陰極熒光全譜及單譜掃描成像、光譜采集以及陰極熒光高光譜分析。系統配備熒光收集鏡及傳輸光纖、信號調理采集系統、電子束掃描發生器、光譜儀，通過系統控制與采集軟件集成控制。

系統采用電子束掃描發生器控制電子顯微鏡的電子束掃描和觸發探測器工作，同時可采集經信號調理采集系統獲得的熒光強度信號，從而實現電子束掃描信號與探測器數據采集的嚴格同步，獲得陰極熒光成像、陰極熒光光譜面分布數據。該系統可在納米空間分辨率下實現各類材料的陰極熒光成像和光譜測量，尤其適用于半導體材料研究、光電材料和器件研究研發、納米光子學科學研究、薄膜和納米結構及礦物等。

技術參數

(1)CL功能：單色、全色、RGB CL成像?？刹杉c、線、面CL光譜。

具備波長單色器成像功能，采用PMT探測器對用戶感興趣的波長快速成像；

(2)光譜儀采用C-T結構設計,采用超環面影像校準設計，全光譜消?差，覆蓋光譜范圍廣；

(3)高性能橢球反射鏡采集，CL收集效率?，總效率可達到90%（Lambertian source）。

探測器類型：單通道探測器（PMT）、 多通道探測器（CCD）；

(4)光譜響應范圍：200-1100nm；

(5)增強型光譜儀：焦距320mm、3光柵，采用68×68大面積光柵，提升光通量的檢測能力；

光譜儀耦合模塊，精確自適應匹配CL準直光束與光譜儀F數（孔徑），F=4.2；

(6)CL光強成像采用高速PMT探測器，波段響應范圍：160-900nm；

(7)CCD光譜分辨：0.2nm（@1200g/mm光柵，CCD像素尺寸15μm）;

PMT分辨率：0.2nm（@1200g/mm光柵）；

(8)專業CL光譜采集，獨立操作軟件，輕松獲取與分析數據，

開源軟件使整個CL成像流程輕松簡單；具備點掃描、線掃描、面掃描，全譜、單譜、

高光譜成像的功能，全中文操作界面。