粉體行業(yè)在線展覽
電子級(jí)單晶金剛石襯底
面議
德盟特
電子級(jí)單晶金剛石襯底
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常規(guī)產(chǎn)品 | |
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晶面: | {100} |
尺寸(長(zhǎng)寬): | 1mm×1mm-20mm×20mm |
厚度: | 0.2mm-3mm |
橫向公差: | ±0.05mm |
表面粗糙度: | 普通(Ra≤5nm);精拋(Ra≤1nm) |
雜質(zhì)濃度: | N≤5ppm;B & Si小于SIMS檢測(cè)下限 |
XRD FWHM: | 100arcsec;60arcsec;40arcsec(可選) |
XRD offset: | <3° |
位錯(cuò)密度: | <10^5/cm |
熱導(dǎo)率: | >2000 W/m·K |
常規(guī)參數(shù) | |
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拼接方式: | 4個(gè)10mm×10mm電子級(jí)單晶金剛石襯底拼接 |
晶面: | {100} |
尺寸(長(zhǎng)寬): | 1mm×1mm-20mm×20mm |
厚度: | 0.5mm-2mm |
橫向公差: | ±0.05mm |
激光切面角度: | <0.5° |
表面粗糙度: | 普通(Ra ≤5nm);精拋(Ra ≤1nm) |
常規(guī)參數(shù) | ||
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氫終端單晶金剛石外延 | 尺寸: | 1mm×1mm-20mm×20mm |
表面粗糙度: | Ra<2nm | |
氧終端單晶金剛石外延 | 尺寸: | 1mm×1mm-20mm×20mm |
表面粗糙度: | Ra<1nm | |
B摻雜單晶金剛石外延 | B濃度: | 2X10^16-1X10^17/cm3 |
薄膜厚度: | 可商議 | |
遷移率: | >1500 cm2/V·s |
常見產(chǎn)品型號(hào) | 尺寸 | 主要參數(shù) |
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DD335 | 3mm×3mm×0.5mm | XRD offset 1°、電子級(jí) |
DD10105PPV | 10mm×10mm×0.5mm | 雙面精拋、電子級(jí) |
DD20205P | 20mm×20mm×0.5mm | 單面精拋、電子級(jí) |
DD40401P | 40mm×40mm×1mm | 常規(guī)單面拋光、電子級(jí) |