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電子級(jí)單晶金剛石襯底

電子級(jí)單晶金剛石襯底

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西安德盟特半導(dǎo)體科技有限公司

陜西

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

德盟特

型號(hào):

電子級(jí)單晶金剛石襯底

關(guān)注度:

373

產(chǎn)品介紹

常規(guī)產(chǎn)品
晶面:{100}
尺寸(長(zhǎng)寬):1mm×1mm-20mm×20mm
厚度:0.2mm-3mm
橫向公差:±0.05mm
表面粗糙度:普通(Ra≤5nm);精拋(Ra≤1nm)
雜質(zhì)濃度:N≤5ppm;B & Si小于SIMS檢測(cè)下限
XRD FWHM:100arcsec;60arcsec;40arcsec(可選)
XRD offset:<3°
位錯(cuò)密度:<10^5/cm
熱導(dǎo)率:>2000 W/m·K
常規(guī)參數(shù)
拼接方式:4個(gè)10mm×10mm電子級(jí)單晶金剛石襯底拼接
晶面:{100}
尺寸(長(zhǎng)寬):1mm×1mm-20mm×20mm
厚度:0.5mm-2mm
橫向公差:±0.05mm
激光切面角度:<0.5°
表面粗糙度:普通(Ra ≤5nm);精拋(Ra ≤1nm)
常規(guī)參數(shù)
氫終端單晶金剛石外延尺寸:1mm×1mm-20mm×20mm
表面粗糙度:Ra<2nm
氧終端單晶金剛石外延尺寸:1mm×1mm-20mm×20mm
表面粗糙度:Ra<1nm
B摻雜單晶金剛石外延B濃度:2X10^16-1X10^17/cm3
薄膜厚度:可商議
遷移率:>1500 cm2/V·s
常見產(chǎn)品型號(hào)尺寸主要參數(shù)
DD3353mm×3mm×0.5mmXRD offset 1°、電子級(jí)
DD10105PPV10mm×10mm×0.5mm雙面精拋、電子級(jí)
DD20205P20mm×20mm×0.5mm單面精拋、電子級(jí)
DD40401P40mm×40mm×1mm常規(guī)單面拋光、電子級(jí)


產(chǎn)品咨詢

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電子級(jí)單晶金剛石襯底 - 373
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