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SuperView W1
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深圳市中圖儀器股份有限公司
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中圖儀器
SuperView W1
3085
汽車工業、半導體加工、精密加工、航空航天、國防軍事、造紙工業、鋼鐵工業、薄膜加工、生物醫學、MEMS、能源器件、微電子、信息存儲、結構光學和通訊產品
SuperView W1三維光學輪廓測量儀是利用光學顯微技術、白光干涉掃描技術、計算機軟件控制技術和PZT垂直掃描技術對工件進行非接觸測量，還原出工件3D表面形貌宏微觀信息，并通過軟件提供的多種工具對表面形貌進行各種功能參數數據處理，實現對各種工件表面形貌的微納米測量和分析的光學計量儀器。
SuperView W1三維光學輪廓測量儀只需操作者裝好被測工件，在檢定軟件上設定物鏡倍率和測量模式后點擊“開始”按鈕，光學物鏡會對工件表面進行自動對焦和非接觸掃描，并按設定的位置進行測量，軟件界面會實時掃描物體宏微觀表面形貌；掃描結束后，操作者可通過分析工具對生成的3D形貌進行分析，得到如輪廓、厚度、粗糙度、體積等多種表面形貌測量分析數據。
該產品具有精度高、使用方便、功能強等優點，采用非接觸式傳感器掃描技術，用于對各種產品和部件的表面形貌特征進行測量和分析，它比傳統的探針式輪廓儀操作更方便，測量精度更高。
由于采用非接觸無損的測量方式，避免了對被測物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統方式無法檢測的表面形態測量和分析。
還能夠對各種表面的工件和材料從宏觀到微觀的進行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑、表面粗糙度等幾何參數進行亞微米、納米級測量和分析。
系統軟件為簡體中文操作系統，操作方便。
SuperView W1三維光學輪廓測量儀性能特點：
1) 使用白光干涉測量技術，非接觸式、非破壞性、快速表面形貌測量與分析；
2) 臺階高度測量分辨率達0.1 nm；
3) 可搭配黑白或彩色相機進行2D、3D顯示和測量功能；
4) 配置電動鼻輪，可同時掛載多種物鏡并程序化控制切換使用；
5) 采用雙光源模式，適應特殊樣品測量；
6) 測量范圍100×100mm(可按客戶定制尺寸)；
7) 配置低倍率物鏡(2.5×和5×倍率)，可進行大面積3D測量；
8) 提供多種表面參數測量功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗糙度、波紋度、薄膜厚度及平面度；
9) 提供超過250多種各類參數（含2D、3D）計算；
10) 友好的人機界面，簡便的圖形化控制系統及3D圖型顯示；
11) 多種交換文件格式，可儲存與讀取多種3D輪廓文件格式；
SuperView W1三維光學輪廓測量儀應用：
SuperView W1三維光學輪廓測量儀廣泛應用于汽車工業、半導體加工、精密加工、航空航天、造紙工業、鋼鐵工業、薄膜加工、生物醫學、MEMS、能源器件、微電子、信息存儲、結構光學和通訊產品等許多行業領域中。
各類光滑、連續光滑和適度粗糙物體表面從毫米到亞微米、納米尺度的3D形貌輪廓、坐標、厚度、粗糙度、體積、表面紋理等測量。
SuperView W1三維光學輪廓測量儀技術指標：
光源 | 白光LED；綠光LED |
影像系統 | 1280×1024 |
普通物鏡 | 1×、2.5×、5×、10×、20×、50×、100×、150× |
干涉物鏡 | 5×、10×、20×、50×、100× |
坡度 | 小于42o |
物鏡座 | 電控5孔物鏡轉盤 |
光學ZOOM | 1×或0.5× |
XY移動平臺 | 測量范圍：100×100mm（可根據客戶需要定制） 精度：0.5μm 分辨率：0.01μm 負載：10kg 控制方式：自動 |
水平調整 | 手動調整，±4° |
Z軸 | 移動范圍：100mm 分辨率：0.01μm |
PZT掃描 | 行程：100μm 分辨率：0.8nm 重復性：5nm 掃描速度：≤30μm/s |
測量模式與精度 | 垂直掃描VSI； 準確度（4.43μm臺階高）：0.75% 重復性（4.43μm臺階高）：0.1% 相移法掃描PSI： 準確度（57nm臺階高）：1.5% 重復性（57nm臺階高）：0.3% |
一般測量時間 (掃描范圍10μm) | VSI：10S；PSI：3S |
