電子束分析設備16"球型UHV超高真空腔室

國內外學術研究機構單位, 各式UHV超高真空設備依客戶需求自定義尺寸的設計圖稿來制作。

電子束分析設備16"球型超高真空腔室

材質：304S.S.

表面處理：電解拋光

規格：16"球型UHV超高真空腔室

泄漏率<2 x 10-10mbar.l/sec

工作壓力<5 x10-10 torr

Flange 角度對心誤差 < 0.5?

高科技真空系統環境制程的開發初期都需要在實驗室進行許多測試，Htc日揚真空制造之客制化真空腔體裝配于多種實驗設備，為研究者提供了適當的工具以進行各項實驗。 

Htc日揚真空已建立的實績包括各種實驗用真空鍍膜腔體、太空腔仿真裝置、表面分析系統、光學量測系統及氣體檢測設備等，另外也承制了國內外同步輻射中心超高真空系統的腔體、真空鍍膜機、蒸發鍍膜機、磁控濺射鍍膜機、離子鍍膜機和等離子化學沉積真空裝置學術研究。。