粉體行業(yè)在線展覽
垂直氧化爐—8寸
面議
華旗科技
垂直氧化爐—8寸
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垂直氧化系統(tǒng)用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領域,6"、8"晶圓的氧化、合金、退火等工藝。
產品性能:
*垂直結構,高效產能,150片/批
*穩(wěn)定優(yōu)良的成膜均勻性,重復性好
*微環(huán)境低氧控制先進技術
*硅片顆粒度控制穩(wěn)定,國際標準
*全自動流程,盒對盒,AGV對接
配套工藝:
*氧化:干氧/濕氧(DCE, HCL)
*氮、氫退火,燒結、合金,固化等
*快速熱退火