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垂直氧化爐—8寸

垂直氧化爐—8寸

直接聯(lián)系

青島華旗科技有限公司

山東

產品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

華旗科技

型號:

垂直氧化爐—8寸

關注度:

341

產品介紹

垂直氧化系統(tǒng)用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領域,6"、8"晶圓的氧化、合金、退火等工藝。

產品性能:

*垂直結構,高效產能,150片/批

*穩(wěn)定優(yōu)良的成膜均勻性,重復性好

*微環(huán)境低氧控制先進技術

*硅片顆粒度控制穩(wěn)定,國際標準

*全自動流程,盒對盒,AGV對接

配套工藝:


*氧化:干氧/濕氧(DCE, HCL)

*氮、氫退火,燒結、合金,固化等

*快速熱退火


產品咨詢

垂直氧化爐—8寸

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