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氮化鋁基板燒結爐

設備特點:

設有強制的冷卻系統和獨立的進排氣結構

溫度要求高，可達到2400℃高溫，且爐內溫度穩定

可根據客戶要求，提供爐膛、爐膽尺寸定制，可以更好的配合生產

設備用途:

電子陶瓷金屬共燒(氮化鋁、氧化鋁、氧化鈹等)

鎢金屬純化、石墨純化、陶瓷金屬化、藍寶石長晶等;

退火、燒結;氮化鋁長晶，

設備規格:

有效區:臥室-石墨熱場(Graphite box):410x410x600/410x410x1800

加熱器:石墨管/鎢網/鎢板式

隔熱屏材料:超高純石墨化硬氈/鎢鉬復會屏

**裝爐量:300kg~1000kg

**設計溫度:2050℃℃~30009℃

極限真空:5pa

溫度均勻性:±5°C

工藝氣氛:氨氣/氫氣/氫氣/氟

充氣壓力:≤0.05mpa