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產品型號：EPIREVO S6

EPIREVO S6是日本株式會社東芝的子公司紐富萊（NuFlare）的主要產品之一。采用全自動化的單片雙腔設計，利用垂直氣流和高速旋轉的生產工藝，將月產能提高到了1800片以上的可能（4-6英寸，10微米標準）。垂直腔體的設計以及高速旋轉生長的原理可使產品全體缺陷控制在0.01cm2（EDD）以內，清掃維護（PM）也達到了可連續生長2000微米以上，為目前碳化硅外延量產化的**設備。尚且，本外延爐也已經具備了簡易更換配件即可對應8英寸外延的可能。產能更大、質量更好、性價比更高是產品的設計宗旨。