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Technical Data:

技術參數：

Shape: Horizontal design.

外形：水平設計

Chamber dimensions: ? = 1，7 m， Length = 3，5 m.

腔體尺寸：? = 1，7 m， Length = 3，5 m.

Vacuum better than: 1x10-5 mbar.

真空度：<1x10-5 mbar.

Temperature range: from –55oC to +120oC.

溫度范圍：–55oC to +120oC

Heating/Cooling speed at the shrouds: 1oC/min.

導熱層加熱冷卻速率： 1oC/min.

Shroud temperature uniformity: 2oC.

導熱層溫度均勻性： 2oC

Working surface: optical table.

工作臺面：光學桌子

特殊設計：

Table supported on a seismic block， isolated from chamber supports.

工作桌面區別于腔體，單獨固定在一個防震區塊上。

4 shroud zones with independent temperature control.

四個區域擁有單獨的溫度控制模塊。

TCU and vacuum pumps are in separated machinery room.

溫度控制模塊和真空泵在不同的房間