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日本堀場痕量氣體在線分析儀GA-370

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日本HORIBA痕量氣體在線分析儀GA-370

GA-370 用于空氣分離和半導體工廠生產的高純氣體的質量管理,為氣體生產設施的質量管理提供連續的,高靈敏度及高精確度的微量雜質(CO,CO2,CH4)監測。

一.高靈敏度的監測

1.采用交替流動調制型雙光束非分散紅外吸收法(NDIR),零點極其穩定,無漂移。

2.*小檢測限(MDL)為10 ppb,可支持需要高精度測量的應用。

GA-370痕量氣體分析儀內置的紅外光源的光束通過氣室到達檢測器。在測量過程中,電磁閥交替地將樣氣和參比氣體引入到分析儀的測量氣室中。

與氣室中充滿參比氣體時的情況相比,當氣室中充滿樣氣的時候,樣氣中的COCO2以及CH4會引起到達檢測器的光強度的不同。檢測器檢測到的兩種氣體對光的吸收差異,使檢測器薄膜發生偏轉而振動。采用這種測量技術能省去光學斬波器和光學調整的需要,消除零點漂移,提高了靈敏度。

二.高純氣體中微量雜質的監測

可應用于典型平衡氣體如:氮氣,氧氣,氦氣,氬氣,氫氣和空氣。

如有需要用于測量其他平衡氣的情況我司。

三.操作簡便,免維護

1.操作簡便的屏幕菜單簡化了分析儀的校準和測量等各項操作。

2.無需光學調整。

3.觸摸式彩色液晶顯示屏(LCD)能夠以圖表方式顯示歷史數據。

四.典型應用

一般情況下,工業氣體如氧氣和氮氣,是由空氣分離設備制造的。將除去水分(H20)和二氧化碳(CO2)的原料空氣通入分離裝置,分離裝置利用氮氣(N2)、氬氣(Ar)和氧氣(O2)三者沸點不同分離出不同氣體。同樣地,空氣分離設備也能制造其他稀有或惰性氣體,如氫氣(H2)和氦氣(He)。

HORIBA GA-370痕量氣體分析儀能有效測量分離后氣體中的雜質,保證了氣體質量。

五.在線分析儀GA-370技術參數:

型號: GA-370

測量組分: CO, CO2 CH4

高純氣體種類: N2O2He, Ar, H2, Air

測量組分數: 1-2種(由平衡氣體種類決定)

測量原理:交替流動調制型雙光束非分散紅外吸收法(NDIR

量程:01/2/5/10 ppm

檢測下限:10 ppb

零點漂移:≤±0.02 ppm/≤±0.03 ppm/

量程漂移:≤±2% F.S./≤±3% F.S./

響應時間:≤180s

外形尺寸和重量:430(W)×221(H)×555(D) mm (不包括突出部分),約18 kg

電源:100240 V AC,≤±10% (不超電壓:250 V AC)

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