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CHIP-NOVA程序升溫原位TEM氣體反應系統

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廈門超新芯科技有限公司

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產品介紹

程序升溫原位氣體反應系統是在標準的樣品臺基礎上搭建可視化NONA-LAB和四電極反饋控溫模塊,在透射電鏡中實現樣品的氣氛環境皮米級高分辨成像和精準、均勻、安全控溫,溫度精度優于±0.1K,**溫度1000℃,**氣壓2000mBar。通過精確的熱場模擬及獨特的芯片設計,實現無漂移加熱過程,可在加熱升溫過程中實現實時觀測成像。原位氣氛反應納流控安全管理系統實現納升級別流體引入,高效精確控制氣體池中的流體的流速流量,*低為10nL/s,引入流體在極其微量級別,即使在芯片窗體薄膜破裂的情況下,也不會有大量氣體滲漏,使得電鏡的安全得以保證,實驗不受影響可持續進行。

獨特優勢

原子級分辨率

a.超薄氣夾層(100-200nm

b.超薄氮化硅膜(可達10nm

溫控精確

a.四電極形成反饋控制系統,控溫準

b.觀測區域全覆蓋,升溫快且均勻

安全性高

a.防腐多路精確控制氣體混合

b.納流控系統防滲漏

系統規格

溫度范圍RT~1000
氣體模式靜態或流體
窗口膜厚10nm, 25nm, 50nm
氣體池厚度100~200nm
芯片管路一進一出
外部管路1-41
壓力范圍

0~2000mBar

適用氣氛H2, He, N2, O2, Ar, H2O, CO,CO
溫度精度≥95%
加熱均勻性≥99.5%
加熱電極數4
(HR)TEM/STEM
(HR)EDS/EELS
適用電鏡FEI, JEOL, Hitachi
適用極靴ST,XT,T,BioT,HRP,HTP,CRP

應用實例

PbSe納米粒子暴露在少量空氣中形貌變化原位觀測X. Peng et al., In Situ TEM Study of the Degradation of PbSe Nanocrystals in Air. Chemistry of Materials 31, 190-199 (2019).

售后服務

1、設備運抵現場,我方技術人員同時到達,一同開箱檢驗,并提供有關設備的搬運、倉儲、注意事項的技術咨詢服務;

2、設備進行安裝調試階段,我方技術人員到現場協助安裝調試,及時處理安裝過程中所遇到的問題,確保系統成功使用;

3、合同要求提供產品使用、維護說明書,設備的原理圖、接線圖、施工圖等技術資料及備品。建立售后跟蹤,及時了解設備運行情況、接受用戶的報修、投訴、以便及時安排技術人員解答或趕赴現場;

4、加強與用戶的聯系,重視用戶的意見,制定各用戶的質量跟蹤信息卡制度,健全用戶檔案,并且對產品進行回訪,了解設備的運行情況,以確保用戶長期安全可靠地使用我公司的設備。

5、公司儲存充足的零配件,隨時滿足客戶單位對備品備件的要求。

產品咨詢

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