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高真空的掃描電鏡，聚焦離子束FIB系統，由于樣品，操作，油污，FIB的氣體注入系統帶來的碳氫污染物會累積在樣品室表面，以及探測器包括EDX窗口，進而影響系統分辨率，清晰度，真空度以及穩定性。
Evactron等離子清洗機適用于任何掃描電鏡，她可以很好的解決這些困擾電鏡使用者的污染問題.
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