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超高精度真空壓力PID控制裝置

Ultra High Precision Vacuum Pressure PID Controller

上海依陽公司推出的超高精度真空壓力PID控制裝置是一種采用電氣比例閥，但通過外置超高精度傳感器和PID控制器，實現(xiàn)真空壓力超高精度控制的裝置，由此可實現(xiàn)真空、微正壓、高壓和超高壓范圍內(nèi)的精密控制，可實現(xiàn)優(yōu)于±0.1%的真空壓力超高精度控制，填補了國內(nèi)工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)超高精度真空壓力控制的空白，并可完全替代國外相關(guān)產(chǎn)品。特別是超高精度真空壓力PID控制裝置還可與微泄漏閥搭配，可實現(xiàn)超高真空條件下的微流量調(diào)節(jié)和超高真空度精密控制。

一、微正壓超高精度PID控制裝置

Micro Positive Pressure Ultra High Precision PID Control Device

微正壓控制裝置主要包括微正壓電氣比例閥和相應(yīng)量程的外接超高精度壓力傳感器，通過超高精度的PID控制器可實現(xiàn)優(yōu)于±0.1%的精密控制。

二、傳統(tǒng)電動閥門執(zhí)行器的升級換代

Upgrading of Traditional Electric Valve Actuators

傳統(tǒng)電動調(diào)節(jié)器一般是電動致動器、電動閥門定位器和閥門結(jié)構(gòu)，結(jié)合傳感器和PID控制器構(gòu)成單回路壓力或溫度控制系統(tǒng)。存在問題是運行速度慢、對PID控制信號響應(yīng)滯后，壓力和溫度波動大。

采用閥門定位器形式的電動減壓閥蒸汽溫度控制結(jié)構(gòu)

傳統(tǒng)閥門定位器形式的電動減壓閥蒸汽溫度控制波動

升級換代技術(shù)則采用串級控制結(jié)構(gòu)，溫度傳感器、氣動減壓閥、電氣比例閥和串級PID調(diào)節(jié)器組成一個雙回路閉環(huán)控制系統(tǒng)。新型控制系統(tǒng)明顯提高控制精度和縮短控制時間。

傳感器、超高精度PID控制器、電氣比例閥和氣動減壓閥構(gòu)成的串行控制結(jié)構(gòu)

串級控制系統(tǒng)的溫度波動

三、電氣比例閥超高精度壓力PID控制裝置

Ultra-High Precision Pressure PID Control Device of Electric Proportional Valve

電氣比例閥超高精度壓力控制裝置主要包括電氣比例閥和相應(yīng)量程的外接超高精度壓力傳感器，通過超高精度的PID控制器可實現(xiàn)優(yōu)于±0.1%的精密控制。

四、先導(dǎo)式氣動減壓閥（背壓閥）的精密高壓控制

Precision High Pressure Control of Pilot Pneumatic Pressure Reducing Valve (Back Pressure Valve)