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氣體稀釋校準器

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產品介紹

稀釋氣質量流量計可控制到0-10SLM

源氣質量流量計可控制到0-100SCCM

2路校準口入口和1路吹掃口;

1路稀釋氣入口,3路輸出口和1路排空口

稀釋入口:1路標準;

源氣入口:1路標準,1路吹掃;

稀釋流量:0-10SLM0-20SLM可選);

源氣流量:0-100SCCM0-2SLM可選)

流量精度:≤1%FS

流量重復:≤±0.15%FS

性:≤±0.5%FS

響應時間:<1分鐘;

操作:按鍵,鍵盤,串口,USB,以太網;

校準定義:20個工廠配置流路,每個流路可**20個線性點;

校準類型:稀釋氣,臭氧,GPT

儀器特點

操作簡單,方便;

溫度顯示穩定,可靠;

壓力可調,面板帶壓力表;

可方便地放入滲透管。

性能參數

溫度控制:基于微處理器的比例溫控系統;

溫度傳感器:RTD;

前面板安裝:調壓器,壓力表,溫控器,稀釋爐入口

特氟龍爐身尺寸:內徑3.09cm,長度12.7cm,

溫控范圍:高于環境溫度2℃到65℃,

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