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特征概覽:

• 新設(shè)計(jì)的離子源使污染*小化，從而延長(zhǎng)其使用壽命和提供更清楚的訊號(hào)
• 新型電子倍增器在PVD工藝壓強(qiáng)下提供更快速，清晰的數(shù)據(jù)收集和免除法拉第杯和電子倍增器的轉(zhuǎn)換，使數(shù)據(jù)一致性。
• 新型加長(zhǎng)的四極桿場(chǎng)可提高低質(zhì)量范圍的過濾能力，提高質(zhì)譜儀分辨同位素的靈敏度，及改善對(duì)氫的檢測(cè)靈敏度
• 內(nèi)置壓力傳感器（CDG），用于工藝壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)和提供聯(lián)鎖保護(hù)，有效延長(zhǎng)燈絲使用壽命

應(yīng)用：

• 高壓強(qiáng)真空系統(tǒng)（< 20毫乇）檢漏，氣體純度，污染檢測(cè)及制程工藝監(jiān)控，涉及領(lǐng)域：傳統(tǒng)高壓強(qiáng)真空系統(tǒng)，半導(dǎo)體，平板顯示器及太陽(yáng)能等行業(yè)PVD系統(tǒng)