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世友創業（北京）科技有限公司
北京
面議
877
感謝您購買我公司的系列分子泵產品。該產品屬于高真空和超高真空的真空獲得設備。
在使用前請詳細閱讀和理解本說明書的各項內容，以便正確使用。不正確的使用，將可能造成運行不正常、設備故障、壽命降低，甚至危及人身安全。泵的操作人員必須仔細閱讀并嚴格遵守本說明書中的條款。由于用戶沒有仔細閱讀說明書、或未按照使用說明書的要求操作而造成的任何傷害和損失，我公司將不負擔任何責任。
使用本資料后，務必進行妥善保管，以備使用。
凡購買我公司生產的分子泵，從發貨之日起，用戶憑保修單可保修一年。外地用戶可延長一個月。在保修期內不收修理費，如需更換零件，一般核收半費，不超過半年可免費。
凡屬下列情況之一的，不予保修：
1) 用戶未經授權對產品私自拆卸；
2) 用戶保管或使用不當（如雨淋、曝曬、進入雜物、撞擊、強腐蝕環境、強放射性環境、強磁場環境等）；
3) 屬于用戶其他原因造成的損壞。
本說明書僅作為信息使用，如遇改版，恕不另行通知。如本說明書與實際產品有所出入，本擁有*終解釋權。由本說明書引起、產生和包含的知識產權均屬本公司所有1. 安全注意事項
在安裝、運行、操作、維護檢查前，必須熟悉本說明書內容，以保證正確使用。使用前也必須熟知一切有關安全注意事項。
1) 分子泵必須與其專用電源配套，同時與分子泵配套電源必須良好接地。
否則可能發生產品損壞、人員受傷、觸電或干擾。
2) 分子泵及配套電源的維修必須返回公司由專業人員進行。
否則可能發生產品損壞、人員受傷或觸電事故。
3) 分子泵的日常維護必須確認分子泵已停止轉動、電源已斷開、泵內氣壓已經與大氣平衡后方可進行換油、查水等日常維護。
否則可能發生產品損壞、人員受傷或觸電事故。
4) 濕手不能操作開關。
否則可能發生觸電事故。
5) 不能帶電接觸電源后面板的接線及端子。
否則可能發生產品損壞或觸電事故。
6) 分子泵運轉過程中，不得對其進行猛烈沖撞或震動。
否則可能發生碎泵事故，并有可能造成其他損壞。
7) 分子泵啟動前必須檢查是否滿足分子泵啟動要求。
否則可能引起故障或造成分子泵損壞。
8) 分子泵電源必須斷開電源15分鐘以上，才能對其進行檢查或接線。
否則可能發生觸電事故。
2. 使用前有關事項
2.1 收貨檢查
檢查收貨的品名和數量是否和發貨數量一致，包裝箱有沒有破損。
2.2 搬運
搬運時必須提取包裝箱的底部，輕拿輕放，否則可能造成分子泵受損。對于較大的分子泵可用叉車進行搬運，搬運時注意不要碰撞底盤上的水、電、前級口的接口零部件，以防撞擊后產生漏氣或損壞。2.3 保管
2.3.1 短期保管
短期保管的環境條件
周圍溫度：-10～ +50℃
相對濕度：5～85%
環境：不要放在會發生溫度急劇變化而結露和冰凍的地方。不能受陽光直射，不能放置于有腐蝕性氣體、可燃氣體、油霧、蒸汽或潮濕的環境中，不得在震動過大的環境中。
2.3.2 長期保管
購置分子泵后長期不使用的保管方法，隨存放環境而不同。
一般按如下所述保管
首先滿足短時保管要求但是保管期超三個月時，要求周圍溫度不得高于30℃，這
是因為考慮到電器元件不通電存放，溫度高時其特性易變壞。
為了防止潮氣影響，應嚴格封存，還要在封存時放入干燥劑，使封裝內部的相對
濕度約在70%以下。
3. 分子泵應用簡介
分子泵是一種獲得高真空和超高真空機械式真空泵，其分為渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵三大類。渦輪分子泵是通過高速旋轉的多級渦輪轉子葉片和靜止渦輪葉片的組合進行抽氣的，在分子流區域內對被抽氣體產生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能；牽引分子泵是利用高速旋轉的轉子表面帶動氣體分子沿著一定形狀的槽隙運動，從而實現壓縮氣體，其在分子流到混合流之間有很高的壓縮比，從而獲得所需的真空性能；復合分子泵結合了二者的優點，利用了兩種結構的有機結合和合理過渡，實現了分子流、混合流的高壓縮比，從而獲得所需的真空性能。分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應、操作簡單、使用方便。由于對分子量大的氣體具有很高的壓縮比，因此在運轉過程中，高真空區域不會受到油蒸汽的污染，該泵不需要冷阱和油擋板，即可獲得清潔的高真空和超高真空環境。因此，它廣泛應用于如下工業生產和探索研究的各個領域。
物理表面分析儀器的真空獲得；
加速器技術的真空獲得；
等離子體技術的真空獲得；
航空航天的模擬環境的真空獲得；
電子、電器元件制造的真空獲得；
各種表面鍍膜的真空獲得等。
4. 分子泵型號、配件、適配電源
4.1 分子泵型號說明
我公司生產的分子泵的型號使用一串字母數字和符號共同組成，具體說明如下：
-□/□□
特殊代號
額定抽速（L/s）
氣體入口口徑
類型代號
說明：
類型代號： FB——渦輪分子泵；
FF——復合分子泵。
特殊代號： 無字符——油潤滑水冷卻分子泵
F——風冷分子泵
Z——脂潤滑分子泵
N——耐腐蝕分子泵
4.2 分子泵適配電源
每種型號分子泵必須配用其專用電源，否則可能造成分子泵損壞。若由此引起的損失本公司概不負責。適配電源見表1。
表1 分子泵適配電源表
序號
分子泵型號
適配電源
1
FF-160/620、FF-160/620F、FF-160/620N
FK-620或FK-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ
2
FF-160/750、FF-160/750Z
FK-750或FK-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ
3
FF-200/1200
FK-1200或FK-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ
4
FB-250/1600、FF-250/1600、FF-250/2000
FK-1600或FK-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ
5
FB-400/4200
FK-4200或FK-Ⅰ、Ⅱ、
XC 系列分子泵使用說明書
5
4.3分子泵、配件及資料
表2 分子泵、配件及資料表
4.4 分子泵選購件
表3 選購配件表
序號名 稱單位規格數量備 注
FF-160/750專用
FF-200/1200專用
FB-250/1600專用
2 螺栓、螺母、墊圈套M8×55 按型號確定CF高真空接口專用
3 CF銅墊圈個按型號訂1
4 排氣口盲板、卡箍套KF40 1
4 FF-160/750中LF接口分子泵
5 FF-200/1200中LF接口分子泵
6 FB-250/1600中LF接口分子泵
10 FB-400/4200
1
用戶可根據
使用條件的
不同，選擇
的*少用量
5 LF專用卡鉗個
1 分子泵泵體加熱器套
注：用戶可以根據自己的使用情況，如：要獲得超高及以上真空、泵殼必須烘烤等，
另外單獨選購配件。
序 號名 稱單位數 量備 注
1 分子泵臺1
2 防護網個1
3 使用說明書份1
4 檢驗合格證份1
5 保修卡份1
6 分子泵潤滑油瓶1
7 O型密封圈個1 膠圈密封LF接口專用
XC 系列分子泵使用說明書
6
5. 分子泵技術說明及簡圖
分子泵技術說明包括技術數據、抽速曲線、壓縮比曲線、安裝簡圖、排氣口簡圖五部分。
5.1 分子泵技術數據
表4 分子泵技術數據表
分子泵型號FB-400/4200
進氣口法蘭LF100 CF100 LF160 CF160 LF160 CF160 LF160 CF160 LF200 CF200 LF200 CF200 LF250 CF250 LF250 CF250 LF250 CF250 LF400
抽氣速率(l/s) 180 180 4200升/秒
N2 108
H2 5?102
極限壓強pa ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤6?10-6 ≤6?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤1?10-6 ≤1?10-7 ≤8?10-7
排氣口法蘭LF100
啟動時間(min) ≤18分鐘
額定轉速(rpm) 16200轉/分
振動值(mm) ≤0.2mm
建議采用前級泵30升/秒
充油量320ml
安裝方式豎直±5°
冷卻方式及溫度水冷、水溫?25℃
泵體烘烤溫度<120℃
環境溫度5℃∽40℃
重量(kg) 7 8 21.4/24 22/24.6 21 21.6 17.6 18.2 31 32 31 32 39 42 35/37 38/40 36 39 108kg
FF-160/750
FB-250/1600
FF-250/1600
壓縮比
FF-200/1200
750升/秒1200升/秒1600升/秒
N2 109
H2 5?103
N2 109
H2 5?103
N2 108
H2 5?102
FF-160/620、
、620F、620N
620升/秒
N2 109
≤0.1mm
8升/秒12升/秒15升/秒
110ml
KF40 KF40
≤6分鐘≤9分鐘
36000轉/分24000轉/分
KF40
≤7分鐘
27000轉/分
水冷、水溫?25℃
<120℃
H2 5?103
KF40
≤6分鐘
30000轉/分
≤0.1mm
5℃∽40℃ 5℃∽40℃
豎直±5° 豎直±5°
5℃∽40℃
水冷、水溫?25℃ 水冷、水溫?25℃ 水冷、水溫?25℃
<120℃ <120℃ <120℃
豎直±5°
5℃∽40℃
≤0.1mm ≤0.1mm
110ml 110ml
FF-250/2000
2000升/秒
N2 109
H2 5?103
KF40
5℃∽40℃
FF-200/1300
1300升/秒
N2 109
H2 5?103
KF40
≤8分鐘
30000轉/分
≤0.1mm
12升/秒
110ml
豎直±5°
水冷、水溫?25℃
<120℃
5℃∽40℃
<120℃
8升/秒
110ml
豎直±5°
≤0.1mm
4升/秒
無
豎直±5°
水冷、水溫?25℃
<120℃
5℃∽40℃
FF-160/750Z
750升/秒
N2 109
H2 5?103
KF40
≤6分鐘
36000轉/分
≤0.1mm
8升/秒
無
任意角度
水冷、水溫?25℃
≤10分鐘
27000轉/分
≤0.1mm
15升/秒
110ml
<120℃
5℃∽25℃
風冷
<120℃
5℃∽25℃
FF-250/1800
、1800F
1800升/秒
N2 109
H2 5?103
KF40
≤9分鐘
24000轉/分
≤0.1mm
15升/秒
110ml
豎直±5°
水冷、水溫?25℃
FF-100/180Z
N2 109
H2 5?103
KF16
任意角度
≤4分鐘
48000轉/分
注：1.分子泵極限壓強的獲得，是按國家標準規定的測試規程，對泵體和測試罩進行充分烘烤(48 小時)，在測試罩內得到的*低壓強，即測試罩內所有殘余氣體壓強的總和;
2.分子泵的極限壓強與其所使用的前級泵的工作壓強、有效抽速及分子泵高真空端的進氣口法蘭密封形式有關;
3.防腐分子泵充保護氣體為φ 6 的快插接頭，用φ 6×1.2 的PU 管連接，不用時可直接用專用堵堵上，風冷分子泵的環境溫度要求：5℃～25℃。
XC 系列分子泵使用說明書
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5.2 抽速曲線圖
10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102
0
200
400
600
800
抽速(L/s)
壓強(Pa)
圖1 FF-160/750 對氮氣抽速曲線
圖2 FF-200/1200 對氮氣抽速曲線
XC 系列分子泵使用說明書
8
10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102
0
200
400
600
800
1000
1200
1400
1600
1800
抽速(L/s)
壓強(Pa)
圖3 FB-250/1600 對氮氣抽速曲線
10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
3500
4000
4500
5000
抽速(L/s)
壓強(Pa)
圖4 FB-400/4200 對氮氣抽速曲線
XC 系列分子泵使用說明書
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5.3 壓縮比曲線圖
10-1 100 101 102 103
102
103
104
105
106
107
108
109
1010
壓縮比
前級壓強(Pa)
圖5 FF-160/620、FF-160/750、FF-200/1200、FF-250/2000 對氮氣及氫氣的壓縮比
曲線
圖6 FB-250/1600、FB-400/4200 對氮氣及氫氣的壓縮比曲線
10-2 10-1 100 101 102
101
102
103
104
105
106
107
108
109
壓縮比
前級壓強(Pa)
XC 系列分子泵使用說明書
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5.4分子泵安裝簡圖
圖7、FF-160/750Z安裝簡圖
XC 系列分子泵使用說明書
11
圖8、FF-160/620F安裝簡圖
XC 系列分子泵使用說明書
12
圖9、FF-160/620、FF-160/620F、FF-160/620N、FF-160/750安裝簡圖
XC 系列分子泵使用說明書
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圖10 FF-200/1200、FF-200/1300安裝簡圖
XC 系列分子泵使用說明書
14
圖11、FB-250/1600、FF-250/1600安裝簡圖
XC 系列分子泵使用說明書
15
圖12、FB-400/4200安裝簡圖
XC 系列分子泵使用說明書
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5.5 分子泵排氣口簡圖
圖13 KF40 接口
圖14 KF50 接口
圖15 LF100 接口
XC 系列分子泵使用說明書
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6.安裝
6.1 注意事項
分子泵不能用于抽除液體或者帶有粉塵、固體顆粒的氣體；
除了耐腐蝕型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蝕性氣體，耐腐蝕型泵在抽除腐蝕性氣體時，必須給分子泵的保護氣體入口連續通惰性保護氣體如氮氣等，且泵油使用我公司提供的專用耐腐蝕分子泵油。
確認分子泵與電源相配套。每種泵都只能使用本說明書中規定的與之匹配的電源供電，否則造成的損失，本公司概不負責。
確認安裝環境必須滿足如下條件：
1) 泵體表面徑向和軸向磁場強度均不得大于3mT(30Gs)；
2) 環境放射性強度<105rad；
3) 環境溫度為5~40℃；
4) 空氣相對濕度：≤85%；
5) 電壓：220±22V，頻率：50±1Hz；
6) 海拔：≤3000米。
安裝前應檢查分子泵運輸中是否被損壞：打開泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動渦輪轉子，應轉動靈活，無異常現象。若存在異常現象，應及時通知我公司，不得自行處理，否則由此帶來損失我公司概不負責。
不允許將分子泵長期置于大氣狀態下存放，在打開進氣口和排氣口盲板時，應注意真空衛生要求，嚴禁雜物、灰塵等落入泵內。
安裝環境應符合技術要求和真空衛生要求。
6.2 連接安裝
6.2.1真空聯接
分子泵的進氣口和排氣口法蘭采用國際標準見表4分子泵技術數據表，尺寸見分子泵安裝簡圖和分子泵排氣口簡圖。注意：法蘭密封面不得有劃痕、刀口不得磕碰。
泵的聯接可利用進氣口法蘭吊裝或將泵置于基座平面上，但F-400/4200不建議吊裝，若一定要吊裝必須用活套法蘭（訂貨時單獨訂購）固定。
分子泵的進氣口法蘭通過金屬波紋管與系統聯接時，分子泵必須固定。
為保護分子泵轉子，防止外界物質落入泵內，可在泵口裝上防護網，但裝入此網后，抽速約降低15％左右。
前級泵與分子泵的聯接應采用具有減震效應的金屬波紋管，管路上應裝有隔斷放氣閥，作為停機時對前級機械泵放氣。放氣閥可選用手動閥或電磁閥。放氣過程的操作請參照停機部分。為保護泵體真空衛生，防止潮濕，放氣時，可通氮氣或干燥空氣。
注意！！
分子泵吊裝時，氣體入口與真空腔體之間的連接管道不得長于200mm，否則可能產生焊縫拉裂、振動放大效應，對真空系統和分子泵產生危害；
XC 系列分子泵使用說明書
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法蘭刀口不得磕碰劃傷、密封面不得有徑向劃痕，否則會降低抽氣效果。
6.2.2 冷卻水連接
采用清潔低沉淀的自來水，也可采用冷卻水系統。對于高沉淀或腐蝕性水建議采用循環水系統，以防水管堵塞或腐蝕。冷卻水流量不應低于1升/分，冷卻水入口壓力為0.1～0.2MPa，溫度不應高于25℃，溫度較高時，應加大冷卻水流量。水嘴所接的水管為φ10x1mm， 分子泵的工作環境溫度為不大于40℃。
6.2.3 加入潤滑油
該泵出廠時為了運輸中的安全，已把潤滑油卸去。
注意！！
用戶在初次使用分子泵時必須先加入潤滑油。
操作過程如下：
a. 用扳手將緊固油池的螺釘松開，取下油池。
b. 從濾網外向油池中注入規定量的分子泵潤滑油，即油面應處于油標上下限之間，不得低于油標下限，以保證軸承的良好潤滑，油標為無色標志線。
c. 將油池緊固到泵體上。安裝時注意膠圈的位置和衛生，螺釘對稱擰緊，否則容易漏氣。
注意！！
裝油池時，要注意對稱上緊，避免漏氣。
分子泵潤滑油采用不易裂變的低飽和蒸汽壓的專用分子泵潤滑油，不得用其他油品代替。潤滑油應潔凈，嚴禁污物、雜質和塵埃落入。必要時應對潤滑油進行過濾。
注意！！
禁止使用其它的代用潤滑油，違規操作的任何后果，用戶自行承擔。
6.2.4 電纜聯接
電源電纜插頭與分子泵下部的電源插座聯接。聯接時注意對準槽口方向插入，然后利用螺紋擰緊到位，請不要過分用力，以防插針彎折。
7 運行
7.1 運行前注意事項
電源必須是分子泵配套電源；
各項安裝都已嚴格完成；
檢查各種連接無誤。
7.2 分子泵啟動
7.2.1 分子泵啟動方式確定
分子泵啟動方式是指分子泵與前級泵的啟動順序，可分為同時啟動和定壓力啟動兩種。
一般情況下，分子泵和前級泵可同時啟動，以防前級泵油上返。如果真空系統容
XC 系列分子泵使用說明書
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積過大，應先啟動前級泵，在真空系統壓強P達到200帕時，即啟動分子泵。判定標準如下：被抽系統為V[m3]，前級泵抽速為Sr[m3/h]
同時啟動：Sr/V＞40[h-1]
定壓力啟動：Sr/V≤40[h-1]
定壓力啟動壓力：P=e(Sr/6V)×100[Pa]
7.2.2 啟動冷卻水系統
開啟冷卻水系統，并檢查出水質量、水壓、流量、溫度等參數以及管路連接是否有漏水現象，如不合格及時調整和處理。
7.2.3 啟動分子泵
根據7.2.1確定啟動方式后，啟動前級泵，同時確認前級泵與真空系統無誤后，按動分子泵電源的“電源”按鈕，指示燈亮，等顯示屏顯示紅色數字后，按下“啟動”按鈕，該按鈕指示燈亮，分子泵開始啟動。
注意！！
當分子泵“電源”指示燈和“外控”指示燈同時亮時，分子泵啟停不受“啟動”按鈕控制，由遠程控制分子泵。
正常情況下，分子泵啟動時間不應大于分子泵技術數據表中的啟動時間。由于軸承的磨損或真空系統有漏等原因會造成負載加大從而使加速時間加長，用戶在使用中應注意觀察加速時間，從而判斷泵的使用情況。
7.3 烘烤
對于獲得10-4Pa的真空，原則上不必烘烤（濕度較大地區需要烘烤）；對于獲得10-5Pa的真空，只烘烤真空系統本身就足夠了；對于獲得超高真空，真空系統和分子泵通常需要同時烘烤。測量系統的烘烤應充分，否則會由于其放氣而影響測量數據的準確性。
烘烤應在真空度低于0.5Pa、分子泵運轉情況下進行。
泵體的烘烤溫度參見分子泵技術數據表，如果超過烘烤溫度，可能會造成分子泵的損壞，真空系統的烘烤溫度一般小于300℃。
烘烤的時間長短，根據系統及泵的污染程度和預期達到的極限工作壓強而定，但*短不得少于4小時。
7.4 停機
按一下亮著的“啟動”按鈕，松開后自動彈開“啟動”按鈕，同時該按鈕的指示燈熄滅，分子泵開始在電源的剎車作用下逐漸停止轉動。
注意：停機時不要馬上切斷電源，否則停機時間很長。
真空系統停止工作時，一般應將分子泵充氣到大氣狀態，以免前級對分子泵及真空室造成污染。
停機后，若要保持真空室的真空，則應用分子泵與真空室之間的閥門來實現，不宜使分子泵長時間保持真空，以至前級機械泵油蒸汽反擴散入真空室。
分子泵停轉后，關閉冷卻水，以防在泵內形成冷凝水。
