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普發真空HiPace® 80渦輪分子泵

直接聯系

普發真空技術(上海)有限公司

德國

產品規格型號
參考報價:

面議

關注度:

1210

產品介紹

  • 穩健性工業設計(Robust Design)和經過實踐證明的高可靠性軸承系統。

  • 緊湊型結構以滿足更小的物理空間安裝需求。

  • 高氣流量和高抽速。

  • 可任意角度安裝。

  • 防護等級IP54符合工業環境應用要求。

  • 可應用于腐蝕性氣體工況。

  • SEMI S2 和 UL認證。

  • 完整的配件系統擴展了潛在客戶的需求。

  • 更長時間維護保養時間。

  • 可現場更換軸承。

Bearing

軸承

Hybrid
Compression ratio for Ar

氬氣壓縮比

> 1 · 1011
Compression ratio for H2

氫氣壓縮比

1.4 · 105
Compression ratio for He

氦氣壓縮比

1.3 · 107
Compression ratio for N2

氮其壓縮比

> 1 · 1011
Cooling method, optional

冷卻方式,選擇性

Air/water
Cooling method, standard

冷卻方式,標準

Convection
Cooling water consumption

冷卻水耗量

75 l/h
Cooling water temperature

冷卻水溫度

5-25 °C | 41-77 °F | 278-298 K
Electronic drive unit

控制器

with TC 110
Flange (in)

法蘭(進)

DN 63 ISO-K
Flange (out)

法蘭(出)

DN 16 ISO-KF / G 1/4"
Fore-vacuum max. for N2

氮氣**前級真空

22 hPa | 16.5 Torr | 22 mbar
Gas throughput at full rotational speed for Ar

氬氣全轉速時的氣流量

0.54 hPa l/s | 0.4 Torr l/s | 0.54 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for H2

氫氣全轉速時的氣流量

15.3 hPa l/s | 11.48 Torr l/s | 15.3 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for He

氦氣全轉速時的氣流量

2.7 hPa l/s | 2.02 Torr l/s | 2.7 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for N2

氮氣全轉速時的氣流量

1.3 hPa l/s | 0.98 Torr l/s | 1.3 mbar l/s
Interfaces

接口

RS-485, Remote
Mounting orientation

安裝方向

in any orientation
Operating voltage

運行電壓

24 (± 5 %) V DC
Permissible magnetic field max.

容許的**磁場

3.3 mT
Protection category

防腐等級

IP 54
Pumping speed for Ar

氬氣抽速

66 l/s
Pumping speed for H2

氫氣抽速

48 l/s
Pumping speed for He

氦氣抽速

58 l/s
Pumping speed for N2

氮氣抽速

67 l/s
Rotation speed ± 2 %

旋轉速度 ± 2 %

90000 min-1
Rotation speed variable

可變旋轉速度

50-100 %
Run-up time

啟動時間

1.7 min
Sound pressure level

聲壓級

≤ 48 dB (A)
Ultimate pressure according to PNEUROP

根據PNEUROP的極限壓力

< 1 · 10-7 hPa |< 7.5 · 10-8 Torr |< 1 · 10-7 mbar
Venting connection

排氣連接件

G 1/8"
Weight

重量

2.4 kg | 5.29 lb

Pfeiffer vacuum渦輪分子泵 Hipace80尺寸

Pfeiffer vacuum渦輪分子泵Hipace80抽速

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普發真空HiPace® 80渦輪分子泵

普發真空技術(上海)有限公司

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