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沈陽科晶自動化設備有限公司
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產品簡介：PCE-22-LD紫外臭氧清洗機采用不需要任何溶劑的干式清洗技術，對清洗表面沒有損傷。采用大功率低壓石英汞燈，產生波長185nm和254nm的紫外線，185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的臭氧分子O3，254nm的光同時激發清洗表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短，且同時也被254nm的光分解，因此可調節樣品臺到燈管的距離來優化性能。本機可用于去除石英、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等大多數無機基材上的有機污染物，提供了一種高效、精密的清洗方式，也是表面改性的一種非常重要的技術。可常用于掃描探測顯微鏡的樣品，用于清洗原子力顯微鏡探針，掃描探針顯微鏡標準和表面上常規的油漬層和殘留的無機材料，也能用來改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學改性，經過氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過程中保持探針的幾何形狀，削尖的探針有利于提高側向分辨率。
產品型號 | PCE-22-LD紫外臭氧清洗機 |
主要特點 | 1、可調節樣品臺與UV燈的距離。 2、采用長壽命的低壓汞格柵燈，燈管壽命大約為5000h。 3、大功率低壓石英汞燈使清洗只需3min-5min即可達到原子級潔凈度，效率更高。 4、清洗腔體打開時自動關閉UV燈，避免對人體產生傷害，更加安全。 5、采用全不銹鋼拉絲設計，更堅固美觀。 6、采用控制與反應腔體一體化設計，美觀且節省空間。 7、內置微電腦控制器，只需按動幾下按鈕即可完成清洗過程，操作簡便。 8、提供客戶化定制方案，可定制真空反應腔和加熱樣品臺。 9、用于表面處理、有機物清洗、改善表面親水性、降低表面接觸角、增加表面附著力、增強表面功函數等。 |
技術參數 | 1、結構：箱體一體化不銹鋼結構 2、電源：220V/50Hz 3、燈管材質：固態金屬雙波汞格燈 4、光源功率：250W 5、光照尺寸：20cm×20cm（8"） 6、UV波長：同時產生253.7nm、184.9nm紫外波長 7、燈管使用壽命：約5000h 8、排氣系統：有臭氧排氣系統 9、安全防護功能：帶誤操作自動保護功能 |
產品規格 | 重量：28kg |
應用領域 | ITO玻璃、光學玻璃、鉻板、掩膜板、拋光石英晶體、硅晶片和帶有氧化膜的金屬等進行精密清洗處理，液晶顯示器件、半導體硅晶片、集成電路、高精度印制電路板、光學器件、石英晶體、密封技術、帶氧化膜的金屬材料等有機物去除，有機性污垢、人體皮脂、化妝品油脂、樹脂添加劑及聚酰亞胺、石蠟、松香、潤滑油、殘余的光刻膠等。還能對特定材料進行表面改性，增加浸潤性。 |
