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型號規格：PDC－MG

整機規格：500×300×300（長×寬×高）mm

整機重量：30 Kg

反應艙規格：Φ165×L210 mm (耐熱玻璃)反應艙有效容積：4.5 L

輸入電源：220V／50Hz

整機輸入功率：400 W

射頻功率：0～150Ｗ（連續可調）

射頻頻率：13.56 MHz

極限真空度：60 Pa

數字式定時器范圍：0-99.99 min

數字式電流表和數字式電壓表：方便判斷工作中的功率大小

二路浮子流量計： 0.2～1.5 L／min 量程，方便二種氣體按比例混合

玻璃觀察窗：觀察清洗艙內輝光的狀態

常用工作氣體空氣、氬氣、氨氣或混合氣體等