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納米壓印系統

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桌面型納米印系統,優異的設計理念,專門針對大學實驗室、研究所微納米加工研究設計,配備精密的溫度控制和低壓控制系統,使用方便,性能穩定可靠;同時配合專業設計的壓印模板,可實現各種微納米圖形加工,特征線寬小于20nm;

主要特點:

1.桌面型設計;

2.熱壓印技術;

3.UV壓印技術;

3.模板整合溫度控制;

4.快速升溫、快速降溫,大大縮短熱循環加工周期;

5.低壓控制技術;

6.自動壓入、脫模設計;

7.適用于各種微納米加工研究(2inch~4inch,其他定制);

8.特征線寬小于20nm;

安裝要求:

1.真空0.4 to 0.8 bar(實驗室真空要求),流速至少1mL/min;

2.壓縮空氣或壓縮氮氣6-10 bar;

3.電源:110-240V (50-60 Hz, larger than 200W);

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