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YAMATO雅馬拓等離子清洗機PDC610

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柜谷科技發展(上海)有限公司

日本

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567

產品介紹

小型、多段式等離子清洗機

用途

● 提高各種材料的粘接性、表面改質處理

● 灰化、蝕刻處理

● 塑料封裝前處理

● 印刷基板鍍層前處理

● LED關聯部品處理

● 電子部品清洗

● 光刻膠剝離或表面殘留物去除

● 光學、金屬、機械部品等精密部件的清洗

● 包含氟化樹脂的樹脂類產品表面改質

● FCC對應

特征

● 600W的小型高輸出功率

● 電極可選擇1·2·3段(采購時指定)

● 可處理縱型的試料收納盒

● 可選擇RIE/DP模式(采購時指定)

● 數據記錄器(選配)

● 適配點記憶功能(選配)

規格

型號 PDC610
等離子模式 RIE/DP(固定模式)
電極構造 3段獨立平行平板(固定)
高頻輸出 Max600W
頻率 13.56MHz
控制·顯示方式 PLC·觸摸屏
反應腔尺寸 W350×D270×H300mm
反應腔材質 A5052
反應氣體 2系統(Ar、O2)
填充氣體 N2或干燥空氣
真空泵 油泵(約345L/分)·標配
外形尺寸 W600×D722×H700mm
外裝材質 不銹鋼
電源 3相 AC200 50/60Hz 15A

產品咨詢

YAMATO雅馬拓等離子清洗機PDC610

柜谷科技發展(上海)有限公司

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