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從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機

用途

● 高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通 過氧化反應，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能 基（微量的水分及二氧化碳影響）。 同樣在氮氣等離子體中，氮原子被吸收在表面中，生 成-NH 2等官能基。

● 硅晶圓蝕刻。

● 材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等）。

● 石棉預處理（膜過濾灰化）。

● 從電子設備到生化市場。

● 低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。

● 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。

● 表面有機物去除

特點

● RF為200 W的高性能輸出類型（PR200）。

● 由于是尺寸緊湊的臺式機，很小的位置都可以安裝。

● 同步，自動調諧，操作簡單（PR200）。

● 等離子體反應器（灰化設備）（PR200）。

● 同步、自動調諧（PR200）。

反應腔

［例］石棉分析前處理

規格