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MSE-2401/2402/2403 全自動便攜式氦質譜檢漏儀（干泵）

島津氦質譜檢漏儀搭載了新型的CPU，采用專用的分流泵及中間排氣系統，實現了**的低BG恢復性能和操作性。

產品信息

主要特點

• 靈敏度: 10-13~100Pa?m3/s【He】

• 氦氣排氣速度：3 L/S

• **的本底恢復性能和極短的節拍時間

• 大屏幕液晶觸摸顯示面板，操作便捷

• 分析管采用長壽命的鍍氧化釷銥燈絲（內置兩根）

• 采用非接觸式干泵為無塵室提供更優化的真空系統

• 無油/無塵/三年免維護（干泵）

應用領域

• 半導體和平板顯示器制造

• LED制造

• 鍍膜設備

• 制冷設備和空調的元件及部件

• 低溫壓力容器

• 閥門氣密性

• 撿漏航空部件，配件及系統