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ARS超導磁體探針臺用于強磁場條件下電子器件的非破壞性電學測試,系統高可獲得9T垂直磁場,也可以加雙軸矢量超導磁體。
超導磁體探針臺是實驗中理想的研究磁光和磁電性質的平臺,它可以應用于各種不同的領域,如量子點、自旋電子器件、納米電子學等等。ARS超導磁體探針臺可以根據客戶實際的實驗需求進行定制。
ARS是專業的低溫設備廠家,超導磁體探針臺使用ARS的DE210及DE215系列制冷機,可在樣品臺獲得低于4K的溫度。ARS冷頭性能優異,冷卻速度快,制冷量大,冷頭振動低,性能穩定,是適宜科研設備中使用的冷頭。
ARS設備都采用高拋光不銹鋼材料做真空罩,鍍鎳的無氧銅用作冷屏及其他導熱材料,高質量的材料使系統可以獲得更高的真空度等級以及潔凈的樣品環境。
ARS公司整體探針臺及冷頭的生產加工,確保產品性能的一致性,也利于系統的維護及售后服務。
特點 | 備注 |
溫度范圍:<5K-350K | 其他溫區可選 |
樣品區3T垂直磁場 | 可達6T |
樣品區振動優于1微米 | |
11英寸不銹鋼真空室 | |
9英寸鍍鎳無氧銅防熱輻射屏 | |
1.75英寸鍍金無氧銅樣品臺 | |
高純石英觀察窗 | |
藍寶石防熱輻射屏冷窗 | |
多至6個三維微操作探針臂 | |
可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂 | |
控溫系統:高精度4通道控溫儀、用于測量樣品溫度的校準行硅二極管溫度計(±12mK)、加熱器 | |
7:1顯微觀測系統,3微米分辨率,環形光源 | 可升級16:1顯微觀察系統 |
規格及技術參數 | |
制冷方式 | 雙冷頭,閉循環制冷,無需液氦 |
溫度范圍 | 5K-350K (可選更高制冷量DE215冷頭冷臺溫度<4K,安裝高溫隔熱臺高溫可達800K) |
磁場范圍 | -3T至+3T (可選-6T至+6T,或矢量磁體) |
溫度穩定性 | 優于50mK |
泵抽真空時間 | 約120分鐘 |
降溫時間 | 約5小時至10K(DE210S冷頭) |
真空腔 | 無磁不銹鋼真空腔 直徑11英寸 上蓋安裝高純石英窗口 |
防熱輻射屏 | 鍍鎳無氧銅防熱輻射屏 直徑9英寸 上蓋藍寶石冷窗 熱連接至1級冷頭 |
樣品臺 | 鍍金無氧銅樣品臺 1.75英寸直徑 1英寸可測試范圍 安放2英寸樣品 (其他尺寸可接受定制) |
探針臂位移臺 | 手動驅動 不銹鋼焊接波紋管連接 X方向(軸向)2英寸行程 Y方向(橫向)1英寸行程(標準) Z方向(垂直方向)0.5英寸行程 刻度10微米 靈敏度5微米 |
振動 | 三級減震,振動小于1微米 |
溫度計安裝 | 6個溫度計,2套加熱器 6個溫度計位置: 1個DT-670B-SD溫度計安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫 1個DT-670B-SD溫度計安裝于樣品臺底部用于控溫 1個DT-670B-SD溫度計安裝于冷頭位置用于診斷 1個校準型CX-1070-CU-4L溫度計安裝在樣品臺頂部樣品附近,用于精確測溫 1個DT-670B-CU溫度計安裝在制冷機一級冷頭用于診斷 1個CX-1070-CU-4L溫度計安裝在磁體頂部用于檢測磁體溫度 2套加熱器位置: 1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺底部用于控溫 1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統快速升溫 |
顯微觀測系統 | 標準7:1顯微鏡 4.2毫米-0.61毫米視野 工作距離:89毫米 數值孔徑:0.024-0.08 光源:環形光源 分辨率:3微米 安裝手動三維位移臺 高分辨率24英寸顯示器 可選16:1顯微鏡 12.8毫米-0.8毫米視野 工作距離:89毫米 數值孔徑:0.0090-0.15 光源:環形光源 分辨率:2微米 安裝手動三維位移臺 高分辨率24英寸顯示器 |
探針臂 | |
直流/低頻探針臂 | 微型同軸電纜 接頭:SMA或BNC 頻率:0-100兆赫茲 阻抗:50歐姆 包含接地屏蔽接頭 三同軸電纜 接頭:三同軸接頭 頻率:0-100兆赫茲 阻抗:50歐姆 卡爾文探針 電纜:同軸或三同軸 接頭:SMA/BNC/三同軸 頻率:0-100兆赫茲 針尖材料: 鎢針(標準) 鍍金鎢針(可選) 鈹銅鍍金(可選) 針尖半徑: 0.5微米(其他半徑可選) |
GSG高頻探針臂 | 0-40GHz 接頭:K型接頭 電纜:半剛性同軸電纜 針尖:鎢針或鈹銅針尖 0-50GHz 接頭:2.4 電纜:半剛性同軸電纜 針尖:鎢針或鈹銅針尖 0-67GHz 接頭:1.85 電纜:半剛性同軸電纜 針尖:鎢針或鈹銅針尖 |
光纖探針臂 | 紫外/可見 或 可見/紅外 接頭:SMA905公頭 光纖樣品端:拋光裸頭 尺寸:100微米-400微米 單模或多模 |
案例
PS-CC-SCMSuperconducting Magnet Probe Station with microscope and camera view of probe arms | XYZ translation stages have hardened steel ball bearing for sooth and precise motion control, theta rotation for planarization |