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HMPS-2060SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

HMPS-2060SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

直接聯(lián)系

成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

和瑞微波

型號(hào)：

HMPS-2060SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

關(guān)注度：

447

產(chǎn)品介紹

◆高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長(zhǎng)。

◆多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。

◆第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源；上饋式圓柱型放電腔；

◆適合光學(xué)、電子、工具級(jí)金剛石膜或單晶、石墨烯等的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。

◆性能先進(jìn)，安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好，操作簡(jiǎn)便。

◆多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、采集與記錄，PLC屏幕控制，多重聯(lián)鎖保護(hù)。


（1）型號(hào)HMPS-2060SP
（2）電源 AC380±10% V 三相五線制 50Hz，額定輸入＜18KVA
（3）微波輸出功率 0.5~6kW 連續(xù)可調(diào)
（4）功率穩(wěn)定度  1%（@穩(wěn)態(tài)）
（5）紋波≤1%
（6）微波頻率    2450MHz±50MHz
（7）測(cè)溫方式     紅外300~1400℃
（8）極限真空度 6×10-6torr
（9）腔體內(nèi)工作壓力   7torr~250torr
（10）樣品臺(tái) Φ60mm
（11）樣品臺(tái)軸向調(diào)節(jié)范圍 0-60mm
（12）工作氣氛五路（可用戶(hù)定制）
（13）微波泄漏值 ＜5mW/cm2
（14）工作環(huán)境  溫度15-40℃，相對(duì)濕度≤60%，無(wú)腐蝕性氣體
（15）冷卻水  ＞37L/Min


產(chǎn)品咨詢(xún)

HMPS-2060SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

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