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MDPinline ingot晶錠在線面掃檢測儀

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弗萊貝格儀器(上海)有限公司

德國

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974

產品介紹

MDPinline ingot系統是世界上*快的多晶硅晶錠電學參數特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命,光電導率,電阻率)都是同時測量的。
該系統包括一個數據庫和統計數據評估,可用于自動確定精確的切割位置,以提高成品率。用于材料質量監控,爐選擇和工藝改進。

性能

無接觸破壞的半導體特性

少數載流子壽命的檢測能力

先進的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化

自動切割標準定義

獲取體材料性質的穩態測量

完全自動化的內聯集成

對太陽能級硅錠進行掃描,1mm分辨率

測量時間:1分鐘內完成晶錠的面掃描,可自動測量所有4個面

Automated determination of cut off criteria

優勢

  • 先進光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測的世界記錄。

  • 在1分鐘內完成分辨率大于1mm成像掃描測試,同時可完成電導類型轉變的空間分布掃描和電阻率的

  • 線掃描測試。客戶定義的切割標準可以傳輸到晶圓廠數據庫,該數據庫允許對下一代光伏晶圓廠進行完全自動化的材料監控。

  • 對爐料進行質量控制和爐況監測,并進行失效分析。特殊的“underneath the surface”測量技術大大減少了表面重組造成的數據失真。

    Recognition of cracks, chunks etc. Automated cut criteria definition, lifetime map

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MDPinline ingot晶錠在線面掃檢測儀

弗萊貝格儀器(上海)有限公司

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