粉體行業在線展覽
面議
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海德堡Heidelberg 高級大型2D,3D直寫光刻機DWL 8000
大面積瞄寫系統:DWL 8000
搭配海德堡的精密軟件控制可以讓您在大面積范圍中,也可以瞄寫2維和3維圖形的DWL 8000系列,是針對微光學領域的2維和3維的微構造形式所制作。
對于激光圖形生成器,MEMS,Displays 和sensors 都有加寬,加高的設計。DWL 8000精確的溫度控制,動態的焦點追蹤,closed loop位置決定,確保**布置和完全覆蓋性的直寫范圍。
DWL 8000多年的經驗累積,使Gray Scale曝光技術,可以更有效率于更小的系統上直寫更大的區域范圍。在使用高分辨率技術掩模板上,使用曝光強度經過調整的激光,可在連續表面上形成1個復雜的3維樣式。
主要功能:
。*小描繪尺寸:0.7um
。*小直寫尺寸:20nm
。5種描繪模式
。可轉換成自動描繪模式
。進階3維繪畫方式
。里測/校直用照相機系統
。選擇線上(Online)傳送繪畫數據
。自動基板加載系統
。多種多樣的繪畫數據輸入格式(DXF,CIF,GDSLL,Gerber,STL)
。Stage Map補正
。Edge detectof unit
應用范圍:
。Micro-optics
。MEMS
。Display
。Micro-sensor