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海德堡Heidelberg高級大型2D,3D直寫光刻機DWL 8000

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深圳市藍星宇電子科技有限公司

德國

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海德堡Heidelberg 高級大型2D,3D直寫光刻機DWL 8000

大面積瞄寫系統:DWL 8000

搭配海德堡的精密軟件控制可以讓您在大面積范圍中,也可以瞄寫2維和3維圖形的DWL 8000系列,是針對微光學領域的2維和3維的微構造形式所制作。

對于激光圖形生成器,MEMS,Displays 和sensors 都有加寬,加高的設計。DWL 8000精確的溫度控制,動態的焦點追蹤,closed loop位置決定,確保**布置和完全覆蓋性的直寫范圍。

DWL 8000多年的經驗累積,使Gray Scale曝光技術,可以更有效率于更小的系統上直寫更大的區域范圍。在使用高分辨率技術掩模板上,使用曝光強度經過調整的激光,可在連續表面上形成1個復雜的3維樣式。

主要功能:

。*小描繪尺寸:0.7um

。*小直寫尺寸:20nm

。5種描繪模式

。可轉換成自動描繪模式

。進階3維繪畫方式

。里測/校直用照相機系統

。選擇線上(Online)傳送繪畫數據

。自動基板加載系統

。多種多樣的繪畫數據輸入格式(DXF,CIF,GDSLL,Gerber,STL)

。Stage Map補正

。Edge detectof unit

應用范圍:

。Micro-optics

。MEMS

。Display

。Micro-sensor

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海德堡Heidelberg高級大型2D,3D直寫光刻機DWL 8000

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