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MEMS用高真空密封機

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上海載德半導體技術有限公司

德國

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1255

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技術規格:

1. 兩個加熱區域,每區域直徑200mm、6組件適配器;

2. 腔體高度:100mm;

3. 底部加熱:450攝氏度(選配600度),頂部加熱:200攝氏度;

4. 升溫速率:20度/分鐘 (真空環境);

5. 降溫速率:20度/分鐘 (真空環境);

6. 真空度:10exp-6 hPa;

7. 軟件Unisoft包括USB接口;

8. 可儲存20程序,每程序包括100步;

9. 尺寸:550 x 500 x 1060 mm (WxHxD);

10.重量:105Kg;

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