粉體行業在線展覽
面議
640
PS4L 半自動探針臺
SemiProbe是美國一家**的專業探針臺研發與制造公司,擁有多項**技術,提供完整的所有探針測試的產品與解決方案。其產品包括全自動,半自動,手動探針臺,MEMS測試探針臺,雙面測試,超低溫,高真空探針臺等等。SemiProbe 設計制造創新性模組化探測檢測系統,客戶遍及世界各地,其中包括大專院校、政府科研實驗室、各類半導體制造公司、涉及微機械、納米技術、光電技術、光伏技術等領域,為科研以及制造提供經濟高效、實用、擴展性強的探測系統。同時SemiProbe還為用戶提供強有力的技術支持,可針對用戶的具體應用需求,定制相對應的產品和技術方案。
我們有可以解決您所面臨問題的一套**的方案,PS4L 全自動探針臺是基于SemiProbe可適應性機構**研發的一套系統,與傳統檢測系統不同,PS4L 全自動探針臺所有的基礎組件:基座、平臺、夾具、顯微鏡裝置、顯微鏡移動、光學部件、操縱裝置等,都是可以更換的。這些特征使得PS4L 全自動探針臺可適應不同應用需求,并且成為節省經費的**選擇。這種獨特的設計能夠準確滿足客戶的要求,更重要的是,PS4L系統能夠進行現場升級,以適應環境測試條件的改變。PS4L系統的設計理念,與傳統檢測設備相比,能夠讓客戶節約更多時間,更多成本。
憑借60年的實踐經驗,美國品牌SemiProbe可以迅速為您提供各種定制化方案,以解決不同的難題。我們的宗旨就是讓客戶使用*少的資金獲得**的技術、更及時的響應市場需求。
SemiProbe產品的獨特優點有:
1.SemiProbe****技術的模塊化結構設計,可以使探針臺在一個基本平臺的基礎上不斷的進行升級,且升級可在客戶現場進行,機臺不需返廠。其中PS4L系列產品,可以在PS4L基礎平臺上,由手動探針臺升級為半自動探針臺,半自動探針臺升級為全自動探針臺,或者由6''升級為8'',8''升級為12'',增加密閉測試倉,增加高低溫等等。這些獨特的優點,目前在業界獨此一家。
2.SemiProbe的產品,全部都在美國本土設計制造。
3.SemiProbe的另外一個優點是直流探針座和RF探針座通用,用戶只要一種探針座,換上直流或RF探針,即可做不同的測試,既方便又節省成本。目前業界其他公司的產品,多數直流探針座和RF探針座是不一樣的,并且價格昂貴,無法通用。其超高精度的亞微米級探針座,保證了高端精密測試的需求。
產品優勢:
1.可滿足**18英寸的晶圓基底的測試要求,并能兼容處理12/8/6/4英寸硅片及碎片。
2.主要應用領域:器件性能、MEMS、光電子學、納米研究、光伏電池、失效分析及材料等相關領域。
3.可做直流和微波測試。
4.系統可在客戶現場升級。
5.可增加高低溫及屏蔽系統
6.手動探針測試方式,扎針對準方式靈活。
7.可方便搭載loadpull, 激光測振及電學信號測試等不同的外圍設備。
8.可搭載各種規格探卡。
9.主要部件可依據實際要求定制。
PS4L 半自動探針臺
SemiProbe的PS4L 半自動探針臺是模塊化結構設計*明顯和*靈活的半自動探針臺。它采用了SemiProbe****技術Probe System for Life (PS4L)可適應性結構設計,提供了****的靈活性和大大地為客戶節省了資金費用。PS4L 半自動探針系統可滿足客戶對精準的規格參數的要求。
產品特征和優勢:
1.150mm半自動系統可升級到200mm
2.可選尺寸:100 mm (SA-4) 150 mm (SA-6) 200 mm (SA-8) 300 mm (SA-12)
3.所有關鍵部件都是可以更換的,這樣確保了系統可再配置符合現在和以后的各種應用和預算要求。
4.軟件和硬件模塊提供了**性的現場升級
主要應用:
設備特性,MEMS,光電,光伏,HF /微波,失效分析,研究,材料科學等領域
技術參數
尺寸: | 750 mm X 650 mm X 750 mm (29.5” x 25.4” x 29.5”) (W,H,L) – with optics |
重量: | 95 Kg (210 lbs.) |
夾盤平臺X-Y移動: | Travel: 155 mm x 155 mm Speed: 50 mm/sec (max) Resolution: 0.5 μm Repeatability: +/- 1.0 μm A ccur acy: +/- 2 μm Planarity: +/- 10 μm over travel r ang e Nema 17 stepper motor Optical linear encoder |
夾盤平臺Z移動: | Z Travel: 10 mm Resolution: 1.0 μm Repeatability: +/-2.5 μm |
Theta移動: | T r a v el: +/-10 degrees (User specified) Resolution: 0.29 arc-secs, (0.0018 deg r ees) |
夾盤: | V acuum or mechanical clamping, round or square, ambient, thermal and cus t om Handle die, waffle packs, sawn wafers on frame, broken wafers and full wafers up to 200 mm Nickel plated steel with concentric vacuum rings (standard), other plating materials available Planarity: 8 μm |
壓盤: | Aluminum with stainless steel top 360 degree manipulator placement Manipulator fixation – magnetic, vacuum |
壓盤移動: | Platen Lif t : Choice of fixed or adjus t able A djus t able: Coarse – 25 mm, Fine – 6 mm |
顯微鏡安裝/移動: | Mounting – Boom, Post or Bridge Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm, 50 x 75 mm, 100 x 100 mm |
光學: | Stereo Zoom, Zoom T ube, A-Zoom or Compound Microscope |
其它工具: | Power: AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A V acuum: 23 Hg or -0.8 bar |
備注:規格參數的數值取決于探針系統的配置和配件要求