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量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備

直接聯(lián)系

合肥致真精密設(shè)備有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

致真精密

型號(hào)：

量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備

關(guān)注度：

493

產(chǎn)品介紹

該設(shè)備基于晶圓真空傳輸平臺(tái)VTM，可以靈活配備傳輸腔室和工藝腔室，工藝腔室可選配電子束蒸發(fā)腔室、分子束外延腔室、濺射腔室、熱蒸發(fā)腔室和預(yù)清洗腔室等。可實(shí)現(xiàn)多種材料的精確沉積。

性能參數(shù)

晶圓尺寸	8~12吋
極限真空	優(yōu)于5×10-9mbar（工藝室PM）優(yōu)于5×10-7mbar（傳輸室TM）優(yōu)于5×10-6mbar（進(jìn)樣室Load lock）
工藝室	可選配電子束蒸發(fā)腔室、分子束外延腔室、熱蒸發(fā)腔室、預(yù)清洗室、濺射室、退火室、低溫室、蒸發(fā)室、氧化室等
傳輸室	可選四邊形、六邊形或八邊形腔室，可實(shí)現(xiàn)多個(gè)傳輸室互聯(lián)，配置雙臂或單臂機(jī)械臂，配置校準(zhǔn)和測(cè)量裝置
進(jìn)樣室	8或12吋晶圓，可選EFEM等前端模塊
	詳細(xì)配置可咨詢業(yè)務(wù)

產(chǎn)品咨詢

量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備

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