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產(chǎn)品詳情

團(tuán)簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備是自主“OLED真空蒸鍍工藝裝備”，是“卡脖子”的35項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)的第六項(xiàng)。項(xiàng)目技術(shù)團(tuán)隊(duì)已完成G1(1代線) 和G2.5（2.5代線）的研發(fā)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造。

項(xiàng)目技術(shù)團(tuán)隊(duì)已經(jīng)解決了大部分關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題（如：源爐技術(shù)、精準(zhǔn)對(duì)位技術(shù)（對(duì)位精度達(dá)到1.5μm）、精密蒸鍍電源技術(shù)、原位膜厚測(cè)量技術(shù)、高真空傳遞機(jī)械手、電控系統(tǒng)及自動(dòng)化控制軟件等）。

公司可對(duì)外承接OLED的G1和 G2.5工藝線的設(shè)計(jì)制造。

技術(shù)指標(biāo)

設(shè)備構(gòu)成

應(yīng)用領(lǐng)域

可廣泛用于OLED器件開(kāi)發(fā)、量子點(diǎn)開(kāi)發(fā)、薄膜太陽(yáng)能電池器件研發(fā)、OLED微顯示的研發(fā)和生產(chǎn)、OLED材料驗(yàn)證、VR（Micro-oled虛擬現(xiàn)實(shí)）、OLED照明等。