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SSX600系列光刻機(jī)

SSX600系列光刻機(jī)

直接聯(lián)系

上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
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SSX600系列光刻機(jī)

關(guān)注度：

107

產(chǎn)品介紹

SSX600系列步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應(yīng)調(diào)焦調(diào)平技術(shù)，以及高速高精的自減振六自由度工件臺(tái)掩模臺(tái)技術(shù)，可滿足IC前道制造90nm、110nm、280nm關(guān)鍵層和非關(guān)鍵層的光刻工藝需求，可用于8寸產(chǎn)線或12寸產(chǎn)線。

產(chǎn)品咨詢

SSX600系列光刻機(jī)

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