ApplicationNote 123
使用氣體混合器為AutoChem提供自定義的氣體混合氣
AutoChem的氣體混合器可使用戶無需購買定制混合氣瓶而進行一系列不同氣體濃度的實驗。為達到AutoChem的最優性能,混合氣壓力必須穩定且在10-15psi之間。通常的氣體混合器無法滿足這一需求,但AutoChem可以通過配備背壓調節器和放空線路,然后混合器提供足量的氣體,從而達到上述壓力要求。
下面的示意圖說明了雙組分混合器所需的配置。用戶可自行配置或從麥克儀器公司購買配件,部件號為No.291-33006-00。
氣體混合器需要選定為AutoChem的Manual Mixer模式,從AutoChem應用程序的Unit菜單中選擇Gas Selections可訪問該選項。
氣體混合器的氣體入口壓力設定為30 psi。
混合器的氣體流速必須大于AutoChem的流速設定值。例如,若AutoChem使用20 sccm的參比流速和20 sccm的載氣流速,則總流速為40 sccm。為保證入口壓力穩定,混合器必須提供80 sccm的氣體流速,多余的40 sccm放空出去。
通過使用背壓調節器和放空閥使混合器的出口壓力降低至10-15 psi。調節器將多余的流量經放空管放空。
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