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一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝
2020-11-04     來源:上海矽諾國際貿易有限公司   >>進入該公司展臺 

(1)將鉬粉和鈮粉(純度均為≥99 .95%,粒徑分別為25μm和40μm)按照重量比為10:1的比例裝入球磨機中,然后加入硬脂酸乙酯和氧化鋯磨球(粒徑1 .5mm),在氬氣保護下進行球磨,所述的球磨時間為150min,球磨轉速為800r/min,過篩,分離得到粒徑為8μm鉬鈮合金復合粉末;

所述硬脂酸乙酯、氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0 .05、20倍;

(2)將步驟(1)鉬鈮合金復合粉末抽真空處理,接著進行冷等靜壓成型,冷等靜壓的壓力為250MPa,保壓時間為6min,得到壓制毛坯;

(3)將壓制毛坯在真空燒結爐中進行燒結成型,燒結溫度為2200℃,燒結時間5 h,得到靶材毛坯;

(4)將靶材毛坯經過機械加工得到產品鉬鈮合金濺射靶材,鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織,組織均勻無孔洞,平均晶粒尺寸65μm,密度9 .86g/cm3。


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