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潔凈室塵埃粒子在線監(jiān)控系統(tǒng)

潔凈室采用臺式塵埃粒子計數(shù)器、壓差計和溫濕度計等儀器進(jìn)行流動式測試，首先布置采樣點(diǎn)平面圖，然后用臺式塵埃粒子計數(shù)器流動式測試各個采樣點(diǎn)的空氣粒子個數(shù)，最后將數(shù)據(jù)輸入電腦，整理數(shù)據(jù)，繪出塵埃粒子分布圖。

根據(jù)潔凈室設(shè)計規(guī)范，布置采樣點(diǎn)時，采樣點(diǎn)個數(shù)是用潔凈室面積開平方確定的。這些點(diǎn)僅僅是潔凈室大環(huán)境下的塵埃粒子測試點(diǎn)，不包括相關(guān)工序上的塵埃粒子控制點(diǎn)，粒子計數(shù)傳感器安裝不靈活，不能檢測各個工序上的塵埃粒子數(shù)。

現(xiàn)有的多點(diǎn)檢測裝置，在每個點(diǎn)都使用一個氣泵，而氣泵是潔凈室的一種新的污染源。

現(xiàn)有在線式塵埃粒子計數(shù)器，在每個在線式塵埃粒子傳感器均需要使用一個電源適配器才能供電，這樣就限制了在線式塵埃粒子計數(shù)器安裝位置，會導(dǎo)致在線式塵埃粒子計數(shù)器的采樣管加長，導(dǎo)致采集到的塵埃粒子到達(dá)塵埃粒子計數(shù)器時變化較大。譯

總之，現(xiàn)有的在線式塵埃粒子計數(shù)器雖然達(dá)到了實(shí)時監(jiān)測塵埃粒子數(shù)的目的，但由于在使用過程中每臺計數(shù)傳感器均需一條電源適配器、一條網(wǎng)線，使得潔凈室布置不夠簡潔，且發(fā)塵源增多，兼顧不到潔凈度高的工序的塵埃粒子監(jiān)控。網(wǎng)線和電源適配器目前是比較大的發(fā)塵源(集塵源)，且網(wǎng)線表面含有有機(jī)硅等成分，在電子行業(yè)潔凈室中是禁止使用的。實(shí)用新型內(nèi)容

潔凈室的塵埃粒子計數(shù)器安裝不靈活，且因?yàn)檫M(jìn)行在線塵埃粒子計數(shù)而導(dǎo)致潔凈室內(nèi)集塵源增多的缺陷，提供一種可靈活安裝塵埃粒子計數(shù)傳感器且能夠減少集塵源的潔凈室塵埃粒子在線監(jiān)控系統(tǒng)。

潔凈室塵埃粒子在線監(jiān)控系統(tǒng)，包括多個塵埃粒子計數(shù)傳感器、無線路由、無線接收節(jié)點(diǎn)設(shè)備、路由設(shè)備和監(jiān)控終端，所述塵埃粒子計數(shù)傳感器安裝在潔凈室的多個檢測點(diǎn)，所述塵埃粒子計數(shù)傳感器包括塵埃粒子采樣管、數(shù)據(jù)發(fā)射裝置和光電池，所述光電池將光能轉(zhuǎn)化為電能給所述塵埃粒子計數(shù)傳感器供電，所述塵埃粒子采樣管置于潔凈室真空氣路中，所述塵埃粒子計數(shù)傳感器將采集的塵埃粒子數(shù)據(jù)通過所述數(shù)據(jù)發(fā)射裝置無線發(fā)射給所述無線路由，所述無線路由再將接收的數(shù)據(jù)無線發(fā)送給所述無線接收節(jié)點(diǎn)設(shè)備，再通過所述路由設(shè)備將數(shù)據(jù)傳給所述監(jiān)控終端進(jìn)行在線監(jiān)控。

潔凈室塵埃粒子在線監(jiān)控系統(tǒng)中，所述數(shù)據(jù)發(fā)射裝置包括通信接口和無線發(fā)射器，所述塵埃粒子計數(shù)傳感器將采集的塵埃粒子數(shù)據(jù)經(jīng)過所述通信接口轉(zhuǎn)換后再通過所述無線發(fā)射器無線發(fā)送給所述無線路由。

潔凈室塵埃粒子在線監(jiān)控系統(tǒng)中，所述通信接口為RS485的通信接口。

潔凈室塵埃粒子在線監(jiān)控系統(tǒng)中，所述監(jiān)控終端為安裝有PLC系統(tǒng)、且可以根據(jù)獲取的塵埃粒子數(shù)據(jù)實(shí)時監(jiān)控潔凈室內(nèi)各檢測點(diǎn)的塵埃粒子數(shù)的變化趨勢的計算機(jī)。

塵埃粒子計數(shù)傳感器采用光電池代替原來的電源適配器，該光電池可以將如日光燈的光能轉(zhuǎn)化為電能，使得塵埃粒子計數(shù)傳感器的安裝不受電源適配器的限制；在潔凈室內(nèi)采用無線路由和無線接收節(jié)點(diǎn)設(shè)備將塵埃粒子計數(shù)傳感器采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行無線傳輸和接收，無需在潔凈室內(nèi)安裝網(wǎng)線，避免了網(wǎng)線表面硅的污染，減少了潔凈室內(nèi)的集塵源。