機(jī)械研磨vs離子研磨
一般來(lái)說(shuō),掃描電子顯微鏡樣品制備通常使用機(jī)械切割或者磨拋的方式進(jìn)行樣品觀測(cè)。機(jī)械研磨作為最常用的制備手段,通過(guò)研磨和拋光在樣品表面形成 1nm 至 100nm 厚度的非晶層,稱為 Beilby 層。Beilby 層會(huì)掩蓋住大部分的樣品真實(shí)信息,對(duì)掃描電鏡表征產(chǎn)生很大的影響。
機(jī)械制樣測(cè)試的 SEM 結(jié)果
離子研磨(氬離子拋光)工作原理:可以無(wú)應(yīng)力地去除樣品表面層,加工出光滑的鏡面,為掃描電鏡的樣品制備提供了更為有效的解決方案。
離子研磨是使用高能離子槍轟擊樣品的頂面。高能離子束與樣品的表層非晶層中松散結(jié)合的表面原子相互作用,并將其除去以顯示原子級(jí)清潔的表面。在整個(gè)過(guò)程中可以調(diào)整離子能量,離子束入射角等,以優(yōu)化樣品制備時(shí)間和表面質(zhì)量。
離子研磨儀工作原理示意圖
經(jīng)過(guò)離子研磨儀(氬離子拋光儀)處理后,使用掃描電鏡(SEM)觀測(cè)可以得到更為真實(shí)的樣品表面。
離子研磨儀的應(yīng)用案例
引線鍵合
結(jié)束前工序的每一個(gè)晶圓上,都連接著 500~1200 個(gè)芯片(也可稱作 Die)。為了將這些芯片用于所需之處,需要將晶圓切割(Dicing)成單獨(dú)的芯片后,再與外部進(jìn)行連接、通電。此時(shí),連接電線(電信號(hào)的傳輸路徑)的方法被稱為引線鍵合(Wire Bonding)。
引線鍵合是把金屬引線連接到焊盤(pán)上的一種方法,即把內(nèi)外部的芯片連接起來(lái)的一種技術(shù)。從結(jié)構(gòu)上看,金屬引線在芯片的焊盤(pán)(一次鍵合)和載體焊盤(pán)(二次鍵合)之間充當(dāng)著橋梁的作用。因此,鍵合的質(zhì)量會(huì)直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量,通常會(huì)使用 SEM 進(jìn)行觀測(cè)。
通過(guò)直接機(jī)械研磨后進(jìn)行檢查無(wú)法觀測(cè)到鍵合質(zhì)量的好壞,經(jīng)過(guò)離子研磨(氬離子拋光)處理后可以清晰地看到鍵合的質(zhì)量。
機(jī)械研磨(無(wú)法觀測(cè)到鍵合質(zhì)量)
離子研磨(氬離子拋光)處理后可以清晰地看到鍵合的質(zhì)量
846
- 1煤氣成分與熱值監(jiān)測(cè)-陜北大型能源化工企業(yè)氣體濃度與熱值監(jiān)測(cè)項(xiàng)目
- 2無(wú)鹵低煙阻燃材料中炭黑含量檢測(cè)結(jié)果異常情況的分析
- 3GB 36246-2018中小學(xué)合成材料面層運(yùn)動(dòng)場(chǎng)地全文
- 4ASTM-D638-2003--中文版-塑料拉伸性能測(cè)定方法
- 5GBT 15065-2009 電線電纜用黑色聚乙烯塑料
- 6GB_T2951.41-2008電纜和光纜絕緣和護(hù)套材料通用試驗(yàn)方法
- 7GBT 13021-2023 聚烯烴管材和管件 炭黑含量的測(cè)定 煅燒和熱解法
- 8PEG熔融相變溫度測(cè)試
- EVA型熱熔膠書(shū)刊裝訂強(qiáng)度檢測(cè)與質(zhì)量控制研究
- 自動(dòng)熱壓機(jī)的發(fā)展趨勢(shì)是怎樣的?
- 用戶論文集 ▏化學(xué)吸附 ▏銥-錸共沉積乙醇處理后SiO2載體催化劑應(yīng)用在甘油氫解反應(yīng)
- 為什么近期單壁碳納米角(CNH)的研究進(jìn)展值得關(guān)注?
- 為什么介孔SiO2在藥物遞送領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越多?
- FRITSCH飛馳球磨——不銹鋼介導(dǎo)的水中球磨條件下定量H2生成實(shí)驗(yàn)研究
- 為什么MoS2在催化領(lǐng)域的研究進(jìn)展值得關(guān)注?
- 飛納臺(tái)式掃描電鏡助力納米纖維在心血管組織再生中的研究
- 磷酸化修飾鬼臼果多糖的制備及生物活性
- DSR論文解讀:Advanced Science News 報(bào)道中科院長(zhǎng)春應(yīng)化所新型非鉑催化材料研究成果
- High-throughput preparation, scale up and solidification of andrographolide nanosuspension using hummer acoustic resonance technology(納米混懸劑制備的前瞻性技術(shù) - 蜂鳥(niǎo)聲共振)
- 掃描電鏡優(yōu)秀論文賞析|飛納臺(tái)式掃描電鏡電極材料上的應(yīng)用
- 掃描電鏡論文賞析-干旱影響楊樹(shù)葉片及次生木質(zhì)部發(fā)育的分子機(jī)制
- 壓實(shí)度與密實(shí)度的區(qū)別
- 振實(shí)密度和壓實(shí)密度的關(guān)系
- 勃姆石專用氣流粉碎機(jī)分級(jí)機(jī)打散機(jī)