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CVD系列真空氣氛管式爐廣泛應用于胳、中、低溫CVD工藝，例如；納米粉體的轉相、炭納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結構的可控生長等等；也可適用于金屬材料的擴散焊接以及真空或保護氣氛下熱處理。 采用高純石英管或剛玉管作為內爐膛，可拆卸式的三面密封方式，具有良好的潔凈度和真空度；耐火、保溫材料全部采用先進的輕質纖維制品，整機質量輕、能耗低；加熱元件采用U型硅鋁（炭）棒或原裝竟口電陰絲；溫控系統采用進口多段智能程序溫度控制儀控制，溫度控制具有良好的穩定性、重復性，溫度控制精度高 **溫度可達1650度，其他參數按照用戶提出系列要求來設計。 注：本公司可根據用戶要求提供各種非標設計制造，歡迎來電咨詢。