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1060
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1060
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離子研磨拋光儀1060是一臺高質量的SEM樣品制備臺式精密儀器,滿足幾乎所有材料應用的制備。
離子研磨拋光儀是通過物理科學技術來加強樣品表面特性。使用惰性氣體中具有代表性的氬氣作為氣源,通過加速電壓使其電離并撞擊樣品表面。在控制的范圍內,通過這種動量轉換的方式,氬氣離子去撞擊樣品表面從而達到無應力損傷的SEM觀察樣品。
雙離子束源
離子研磨拋光儀1060配有兩束離子束,可以同時聚焦在樣品表面,這樣大大提高了研磨拋光速度。離子束體積小,zui小化了氣體的需求量,但卻能釋放很大的能量。當操作高能量時,即使在低角度的情況下,研磨速度也很快;當操作低能量時,樣品表面材料濺射出的同時也不會帶來其他雜質。
真空艙體和快速樣品傳遞
SEM離子研磨拋光儀1060的真空艙體保證了設備操作過程中持續真空,預真空鎖使真空艙體與外部環境隔離,保證了樣品轉移過程中**的真空環境。小尺寸的樣品艙在后期維護中清理也更加簡便。
實時樣品觀察
遮板可以阻止濺射的材料干擾樣品觀察。樣品表面上方內置光源用以照明。 體視顯微鏡-選配 SEM離子研磨拋光儀可以通過一臺體視顯微鏡做樣品觀察。由于體視顯微鏡的工作距離較大,在研磨的時候可以直接在原處觀察; 高倍率的顯微成像系統-選配 SEM離子研磨切割儀可以配置一臺高倍率的顯微鏡、數碼相機以及視頻顯示器,通過抓取圖像并將圖像投影到顯示器上,此種方式是制備特定位置樣品的一個理想方式。 當使用高倍顯微成像系統時,樣品將被傳送到預真空鎖的真空環境中拍照,然后再返回原位置繼續研磨拋光操作。
可電腦編程控制樣品移動
離子研磨拋光儀1060具備樣品高度自動感應功能,目前業界僅我們的1060具備此功能。這也方便了操作者可以通過電腦編程來對樣品進行重復定位、調節旋轉速度和往復擺動角度。擺動角度通常可以從±40?到±60?。