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干式螺桿真空泵的泵腔被相互嚙合的主、從動轉(zhuǎn)子分隔成幾段不相連的空腔，根據(jù)作用的不同，分為吸氣腔3、運送腔4與排氣腔5。

干式等螺距螺桿真空泵工作時，隨著主動轉(zhuǎn)子1、從動轉(zhuǎn)子2嚙合轉(zhuǎn)動，使吸氣腔3空間不斷變大，從而從泵體頂部的進(jìn)氣口不斷吸入氣體;當(dāng)主、從動轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)過一定角度后，吸氣腔3體積達(dá)到**并目與泵進(jìn)氣口隔斷，此空腔就轉(zhuǎn)變成運送腔4，并重新形成新的吸氣腔3:隨著轉(zhuǎn)子的繼續(xù)

轉(zhuǎn)動，運送腔4內(nèi)的氣體等體積向排氣端移動，實際工作中，由于排氣端氣體返流的作用，運送腔4內(nèi)的氣體壓力不斷升高;當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)過一定角度，運送腔4與排氣通道相通，排氣通道內(nèi)的氣體劇烈返沖至空腔內(nèi)，造成腔內(nèi)的氣體壓力升高、溫度升高，并帶來氣流噪聲，此空腔就轉(zhuǎn)變成排氣腔5;隨著轉(zhuǎn)子的繼續(xù)轉(zhuǎn)動，排氣腔5的體積開始逐漸變小，氣體被不斷地排出。

干式變螺距螺桿真空泵的吸氣過程與等螺距螺桿真空泵完全一樣;在氣體運送過程中，由于轉(zhuǎn)子螺距的不斷變小，相應(yīng)的運送腔空間變小，壓力升高，排氣端高溫高壓氣體飯流量減少，氣體返流傳熱量降低，使泵進(jìn)氣口側(cè)溫升降低;當(dāng)運送腔與排氣口接通時，由于排氣腔的空間遠(yuǎn)小于等螺距，返沖的氣體量少，產(chǎn)生的候聲低;同時從排氣腔氣體被壓縮產(chǎn)生的熱量隨之遠(yuǎn)小干等螅距，從而使泵工作溫升低于等螺距螺桿真空泵;同時排氣時所需排出泵腔的氣體的量少，使得排氣時所需消耗的能量遠(yuǎn)小于等螺距，因此變螺距螺桿泵具有更好地的節(jié)能效果。

干式螋桿真空泵泵腔內(nèi)無油潤滑，可獲得潔凈真空:泵工作腔及螺旅轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣的工況;泵用于防爆場合時，泵需采用防爆配置。氣體在螺桿真空泵泵腔內(nèi)始終處于勻速直線運動狀態(tài)，并且泵腔直通，無中隔板結(jié)構(gòu)，因此固體粉塵與冷凝液不易在泵腔內(nèi)沉積。必要時通過側(cè)面摻氣口向泵腔內(nèi)充氣，形成吹掃氣流，加強清除泵腔內(nèi)的固體粉塵與冷凝液。

工作原理