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干式真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產品。
    干式真空泵應用范圍
      1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
　　2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
　　3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求；
　　4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
　　5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
     干式真空泵組裝注意事項
　  1.在干式真空泵軸即轉子軸設備之前，有必要來確定它是否彎曲或者是變形的；
　　2.轉子平衡狀況是不是符合標準的；
　　3.葉片和轉子之間的合作開放空間；
　　4.是否需要多次密封緩沖補償裝置的緊固量；
　　5.干式真空泵泵轉子與軸承位置的同心度是否滿足要求；
　　6.調整軸承和端蓋之間的開放空間；
　　7.調整密封部分的開放空間；
　　8.聯(lián)軸器的同軸度是否符合要求。