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羅茨真空泵的優點是在較低入口壓力時仍具有較大抽氣速率，但羅茨真空泵不能單獨使用，必須與前級真空泵配套使

用。當前級真空泵將系統壓力抽到羅茨真空泵允許啟動壓力時，才可啟動羅茨真空泵。

根據不同的工作壓力和工藝條件，羅茨真空泵的前級真空泵可采用螺桿真空泵、液環真空泵、滑閥真空泵等。配置不同類別的前級真空泵后羅茨真空泵所能達到的極限壓力有所不同。

羅茨真空泵可廣泛應用于需要大抽速和中等真空(10-1-10-2 Pa)的任何真空系統中，例如:真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝設備、汽車制造業、集中真空抽氣系統、各類化工處理、真空脫氣、真空除氣、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾等。