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設備特點與技術指標：
  1、機組組成：復合分子泵+機械泵；
  2、真空度：
  A、設備真空度在分子泵啟動到400Hz后優于3*10^-3Pa;
  B、30分鐘以內優于5*10^-5Pa;
  C、極限真空5*10^-5Pa。
  3、機組特點:
  機組為可移位臺式小車結構，能夠滿足不同位置排氣的需要。機組配備預抽排氣系統，可在分子泵不停止的狀態下實現換工件、預抽真空、抽高真空的排氣流程，縮短了排氣時間，有效提高了工作效率。

機組配置:

  1、300升/600升水冷復合分子泵1臺。
  2、抽速12L/s機械泵1臺。

  3、40角閥一套。

  4、高真空復合真空計1套。(包括電離規、電阻規)
  5、直徑108mm*高80mm（150mm*高200mm）真空室1套。
  6、帶腳輪、圍板及不銹鋼臺面的小車1套。
  7、水冷機1臺。