粉體行業(yè)在線展覽
PU21系列小流量高純減壓器
面議
潔安流體
PU21系列小流量高純減壓器
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結(jié)構(gòu)特點 Features
◆ 金屬膜片密封 ,提高產(chǎn)品的潔凈度與泄漏率
◆ 流道內(nèi)部電解拋光粗糙度:EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin
◆ 母體螺紋:1/4"JFS接頭
◆ 內(nèi)部容積:0.49in3
◆ *大流量:標(biāo)準:30 SLPM,高流量 HF:120 SLPM
◆ 設(shè)計驗證壓力:*大額定壓力的150%
◆ 設(shè)計爆炸壓力:*大額定壓力的300%
◆ 100%出廠氦氣測試
產(chǎn)品應(yīng)用 Product application
◆ 腐蝕性和特殊氣體
◆ 半導(dǎo)體行業(yè)
◆ 研究實驗室
◆ 化學(xué)工業(yè)
技術(shù)參數(shù) Specifications
◆ 母體 :SS316L ,SS316L VIN/VAR ,Hastelloy?C22
◆ 閥座: PCTFE,Vespel?
◆ 膜片 :SS316L,Hastelloy?C22合金
◆ 進氣壓力:300, 3500psig
◆ 出氣壓力:10,15,25, 50, 100, 150psig
◆ 工作溫度:PCTFE:- 10℃至80℃ ( 14℉至176℉)
Vespel?:- 26℃至177℃ ( 15℉至350℉)
◆ 泄漏率:
內(nèi)漏2x10-10 sccs He
外漏2x10-9 sccs He
◆ 流量參數(shù):Cv =0. 09 HF Cv=0.15
HPD210L半自動切換匯流排
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